納米線性位移平臺(tái)SLLV42是長(zhǎng)行程范圍的線性納米位移平臺(tái),基于循滑塊設(shè)計(jì)，小滑塊結(jié)合不同長(zhǎng)度的導(dǎo)軌，使其可以進(jìn)行遠(yuǎn)程納米位移定位或在有限空間內(nèi)大行程范圍的納米位移定位?？梢栽谕粋€(gè)軌道上放置多個(gè)滑塊。
納米線性位移平臺(tái)SLLV42可由我們的任何控制單元操作，也可用于高真空應(yīng)用。
納米線性位移平臺(tái)SLLV42規(guī)格參數(shù)
| 型號(hào) | SLL12 | SLLA42 | SLLV42 |
| 分辨率 | <1nm | <1nm | <1nm |
| 負(fù)載 | 30N(3kg) | 30N(3kg) | 30N(3kg) |
| 適合真空度 | 10-11 mbar | 10-11 mbar | 10-11 mbar |
| 行程范圍 | 70~475mm | 70~1480mm | 70~1480mm |
| 步進(jìn)1 | 1-1500nm | 1-1500nm | 1-1500nm |
| 掃描范圍 | >1.5um | >3um | >3um |
| 掃描分辨率 | <1nm | <1nm | <1nm |
| 速度 | >20mm/s | >20mm/s | >20mm/s |
| 頻率 | 18.5KHz | 18.5KHz | 18.5KHz |
| 阻尼力Fb | >3N | >5N | >5N |
| 正向力Fn | 30N | 30N | 30N |
| 升力Fl | >1N | >1.5N | >1.5N |
| 尺寸 | 33.8 x 27 x 13 mm3 | 54 x 60 x 16 mm3 | 54.8 x 60 x 16 mm3 |
| 重量 | 44g | 148g | 148g |
| 鋼軌重 | 59 g / 100 mm | 286 g / 100 mm | 286 g / 100 mm |
| pitch俯仰力矩Mp | 6Nm | 25Nm | 25Nm |
| yaw偏航力矩My | 6Nm | 25Nm | 25Nm |
| roll扭轉(zhuǎn)力矩Mr | 11Nm | 90Nm | 90Nm |
| Closed-Loop-S 傳感器分辨率
| 1nm | 1nm | 1nm |
| Closed-Loop-S 重復(fù)精度
| ± 70 ~450 nm 2 | ± 70 ~450 nm 2 | ± 70 ~450 nm 2 |
納米線性位移平臺(tái)SLLV42可選項(xiàng)目
多運(yùn)載滑塊
沉頭孔、螺紋孔（M4）
黑色陽(yáng)極氧化（-BK）
閉環(huán)所需的螺紋孔M4
-HV (10-6 mbar) 3
納米線性位移平臺(tái)SLLV42配件
納米線性位移平臺(tái)SLLV42具有多種配件方便用戶使用,可以配備各種規(guī)格的適配板,也可集成壓電驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌用于搭建各種復(fù)雜納米定位系統(tǒng)。
納米線性位移平臺(tái)SLLV42配件-被動(dòng)運(yùn)載滑塊-可以安裝到各種導(dǎo)軌上,方便移動(dòng)定位樣品
納米線性位移平臺(tái)SLLV42配件-終點(diǎn)阻擋器-安裝到線性定位臺(tái)上方便阻擋滑塊脫軌
納米線性位移平臺(tái)SLLV42配件-寬定位臺(tái)適配器-能夠適配不同寬度的納米線性定位臺(tái)
納米線性位移平臺(tái)SLLV42應(yīng)用案例
我們采用兩個(gè)納米線性位移平臺(tái)SLLV42和一套SR-7012納米旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)組成了3D納米微操作器,能夠負(fù)載300克樣品,在XY和旋轉(zhuǎn)方向?yàn)橛脩籼峁┘{米定位,可用于真空環(huán)境,非常適合用于SEM掃描電子顯微等樣品定位。
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