六自由度并聯(lián)微定位臺P-SLC-24采用德國六自由度并聯(lián)微納平臺hexapod提供六軸并聯(lián)動力學納米定位,具有更緊湊結構,更高剛性,更低的運動質量和更高的響應速度。六自由度并聯(lián)微定位臺P-SLC-24采用模塊化設計,其尺寸和強度可以適應不斷變化的要求,從幾厘米到幾乎一米的行程都可提供,并具有納米分辨率。
六自由度并聯(lián)微定位臺P-SLC-24規(guī)格參數(shù)分辨率<1nm
負載：1000g (10N)
真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造（根據(jù)用戶要求）
垂直載荷Fv:10N水平力Fh:5N尺寸:> 110 x 90 x 68 mm3重量:≈ 300 ~2000 g行程范圍：
x- 79 ~ 119 mmy -45~119 mmz -≤ 12 mm
Θx：≤31 °
Θy：≤ 27°
Θz：≤42 °
帶納米傳感器-S閉環(huán)最小增量（x，y，z）：1nm最小增量（Θx,Θy,Θz）：1urad重復精度(xyz全行程）：±200 nm重復精度(Θxyz全行程）：±10urad重復精度（1mm行程@xyz)：±15 nm材料和真空可選項目納米級距離編碼傳感器非磁性材料（NM）
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
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