測(cè)量范圍

 電阻率：10^-7～10^-2 Ω.cm；  
 方塊電阻：10^-6～10^-1 Ω/□；
 電導(dǎo)率：10²～10⁷ s/cm；
 電阻：10^-7～10^-2 Ω；

可測(cè)晶片直徑

 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái))；
 200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái))；
 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái))；

恒流源

 電流量程分為0.1A、1A、10A三檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式：00.000～19.999mV；
 分辨力：1μV；
 輸入阻抗：＞1000MΩ；
 精度：±0.5%；
 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)

 間距：1±0.01mm；
 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
 機(jī)械游移率：≤0.3%；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見(jiàn)探頭附帶的合格證)

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差(按JJG508-87進(jìn)行)

 0.0001Ω、0.001Ω、0.01Ω≤0.5％±1字

整機(jī)測(cè)量*大相對(duì)誤差

 用標(biāo)準(zhǔn)電阻（0.0001Ω～0.01Ω）測(cè)試≤±3％

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

 ≤8％

軟件功能（選配）

軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)*大值、*小值、平均值、*大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。

計(jì)算機(jī)通訊接口

 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5  秒

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

 溫度：23±2℃；
 相對(duì)濕度：≤65%；
 無(wú)高頻干擾；
 無(wú)強(qiáng)光直射；