適用標準:
GB/T 8980-1996《高純氮》
GB/T 14599-93 《高純氧》
GB/T 4844.3-1995 《高純氦》
GB/T 4842-2006《高純氬》
GB/T 7445-1995 《純氫、高純氫、超純氫》
GB/T 17873-1999《純氖》
國標中規定的各種氣體的純度指標：
氣體種類項目指標
優等品一等品合格品
高純氮氮氣純度0-2（V/V） ≥99.999699.999399.999
氧含量,10-6（V/V） ≤1.02.03.0
氫含量,10-6（V/V） ≤0.51.01.0
CO、CO2、CH4總含量,10-6（V/V）≤1.02.03.0
高純氬氬純度, 10-2（V/V） ≥99.999699.999399.999
氮含量,10-6（V/V） ≤245
氫含量,10-6（V/V） ≤0.511
總碳含量（以甲烷計）10-6（V/V） ≤0.512
高純氦氦氣純度, 10-2（V/V） ≥99.999699.999399.999
氫含量,10-6（V/V） ≤0.10.51
氧（氬）含量10-6（V/V） ≤0.511
氮含量,10-6（V/V） ≤112
一氧化碳含量,10-6（V/V） ≤0.10.20.5
二氧化碳含量,10-6（V/V） ≤0.20.20.5
甲烷含量,10-6（V/V） ≤0.10.20.5
高純氫氫純度, 10-2（V/V） ≥99.999
氧（氬）含量10-6（V/V） ≤1
氮含量,10-6（V/V） ≤5
一氧化碳含量,10-6（V/V） ≤1
二氧化碳含量,10-6（V/V） ≤1
甲烷含量,10-6（V/V） ≤1
超純氫氫純度, 10-2（V/V） ≥99.9999
氧（氬）含量10-6（V/V） ≤0.2
氮含量,10-6（V/V） ≤0.4
一氧化碳含量,10-6（V/V） ≤0.1
二氧化碳含量,10-6（V/V） ≤0.1
甲烷含量,10-6（V/V） ≤0.2
高純氧氧純度, 10-2（V/V） ≥99.99999.99899.995
氬含量,10-6（V/V） ≤2510
氮含量,10-6（V/V） ≤51020
二氧化碳含量,10-6（V/V） ≤0.511
總碳含量（以甲烷計）10-6（V/V） ≤0.512

GB/T 5829-1995《氪氣》
GB/T 5828-1995《氙氣》
HG/T 3633-1999《純甲烷》
GB/T 10621-2006《食品添加劑液體二氧化碳》
GB/T 16942-1997《電子工業用氣體 氫》
GB/T 16943-1997《電子工業用氣體 氦》
GB/T 16944-1997《電子工業用氣體 氮》
GB/T 16945-1997《電子工業用氣體 氬》
GB/T 14604-93《電子工業用氣體 氧》
GB/T 14600-93《電子工業用氣體 氧化氬氮》
GB/T 14601-93《電子工業用氣體 高純氨》
GB/T 14602-93《電子工業用氣體 》
GB/T 14603-93
GB/T 18994-2003《電子工業用氣體 高純氯》
GB/T 14851-93《電子工業用氣體 》
GB/T 17874-1999《電子工業用氣體 三氯化硼》
GB/T 15909-1995《電子工業用氣體 硅烷》