產(chǎn)品型號

1200℃開啟式管式爐OTF-1200X-5L

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重100kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體表面溫度<55℃。

2、爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。

3、內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高反射率和潔凈度，同時延長使用壽命。

4、采用PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。

5、已通過CE認證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：AC 220V  50Hz/60Hz   6KW

2、石英管：外徑Ø125mm，內(nèi)徑Ø120mm，長1400mm（可選Ø80mm、Ø100mm）

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

4、加熱區(qū)域：880mm

5、工作溫度：高1200℃（<1h），連續(xù)工作1100℃

6、大升降溫速率：20℃/min

7、控溫精度：±1℃

8、真空度：10-2torr（機械泵），10-5torr（分子泵）

9、漏氣率：<5mtorr/min

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：1100mm×450mm×670mm；重量：80kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管

1根

2

氧化鋁管堵

4個

3

不銹鋼法蘭

2個

4

高溫手套

1雙

可選配件

1、鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm

2、石英管堵

3、KF25轉(zhuǎn)接頭

4、卡套接頭

5、滑軌法蘭

6、移動爐架