VEGA 3 GMU/GMH是一款以高品質,計算機控制,用戶友好界面為基礎的產品.具有使用方便,產品質量穩定,分析高效為特點的設計,其超大的樣品室和多功能接口將支持分析更多普通掃描電鏡無法分析的樣品。
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1.的四透鏡大視野光學(Wide Field Optics™)和Tescan*可優化電子束光闌的中間鏡設計,提供了多種工作模式和顯示模式。
2.成像速度快。
3.鏡筒內沒有需要機械對中結構,取而代之的是容易操作和保養的固定光闌。
4.以電磁的方式改變有效物鏡光闌——中間鏡起到“光闌轉換器"的作用。
5.高吞吐量/自動取域。例:自動顆粒定點分析。
6.出眾的電動載臺設計,支持能譜儀(EDX),波譜儀(WDX),背散射電子衍射儀(EBSD)。
7.由于使用了強力的渦淪分子泵和機械真空泵,因而可以快速簡單得到干凈的真空樣品室。
8.*的顯微鏡自動設置包括電子光路設置和對中。
9.網絡操作和內置的遠程監控/診斷是Tescan的標準配備。
10.*的自動功能:全自動真空控制,燈絲自動加熱,自動電子槍校正 (Auto gun alignment),改變加速電壓,自動補償偏壓,改變電子束大小,
自動調整電子束大小,依據訊號/噪聲比自動調整掃描速度,自動對比/亮度調整,自動聚焦,自動調整像差等。
11.自動的軟件安裝.
12.*的圖象處理功能,使用專業的電鏡控制軟件,圖像抓取,加工,處理和分析;
影像顯示尺寸
- 1)實時圖像顯示尺寸:共有512x512, 768x768, 1024x1024等3種方式。
2)儲存圖像顯示尺寸:共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096,8192x8192等9種方式。
3)同時可選擇正方形、4x3長方形、2x1長方形等3種尺寸。
4)可同時顯示任意張實時影像或儲存影像。
掃描速度
從20ns/圖素到10ms/圖素,可階級式或連續式的調整。
聚焦窗口
可連續式調整聚焦窗口的大小和位置。
動態聚焦,點&線掃描
圖像處理(Image processing)
提供銳化(Sharpening)﹐自動對比調整(Auto Contrast)﹐去噪聲化(Noise Reduction)等15種圖像處理功能。
量測功能
提供量測任意兩點的距離,量測任意夾角,不規則形狀的面積和周長,劃指示箭頭,寫說明文字等13種圖像量測的功能
圖像存盤
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1).瀏覽已儲存圖像的相本。
2).找尋已儲存圖像的數據庫系統。
3).報告產生及從程序中直接打印。
4).實時或儲存的圖像均可處理。
- 13.卓越的分析品質
- 1)選擇目標區域:以灰階及彩色為起始點-針對選擇的區域著色及量測。
2)3D掃描:可通過各探頭的配合,顯示真實的三維圖象。
3)硬度分析:以Vickers式硬度或Brinell式硬度標準來測量分析樣品。
4)多圖片校正:可以校正其它電鏡拍攝的照片的放大倍數。
5)打印放大倍數:調整顯示屏以及打印輸出時放大倍數差異。
6)關機時間設定:可以設定次自動關機時間。
7)公差
超大樣品室掃描電鏡可選配軟件
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8)形態學:該軟件可對樣品圖片進行自動分析,測量和分類。其圖片來源可以是顯微鏡,數碼相機等。
9)顆粒度分析:可以對多區域內的樣品進行自動測量,分析和分類(不過分析樣品必須在掃描窗口內)。該軟件結合形態學軟件使用,功能更加*。
10)自動連續截圖
11)樣品觀測
12)鼠標連接:安裝該軟件后,可以用SEM的鼠標控制其他連接的設備的鼠標進行操作。
超大樣品室掃描電鏡參數
二次電子圖象分辨率:3nm(30kV)
加速電壓:0.2~30kV
放大倍數:1~1,000,000x
儀器種類:鎢燈絲


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