測量顯微鏡107JPC
一、用途：
107JA測量顯微鏡，采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于大規模集成電路線寬以及其它精密另件測量。廣泛地適用于計量室，生產作業線以及科學研究等部門。
在107J基礎上加裝光柵測量尺，數據采集系統，將測量數據導入計算機進行數據處理，可進行各種復雜的二維幾何測量。是光、機、電一體化的高科技精密測量儀器。
二、技術規格
鏡筒 | 粗 動 | 調節范圍 90毫米 | |
微 動 | 調節范圍 2毫米 | ||
高（Z)測量 | 1毫米zui小讀數0.001毫米（干分表讀數） | ||
鏡 筒 | 雙目鏡筒 俯角45° | ||
工作臺 | 左右（X軸） | 移動范圍50毫米 | |
前后（Y)軸 | 移動范圍50毫米 | ||
分 辨 率 | 1微米 | ||
旋 轉 | 360° | ||
照明系統 | 光源 | 透射照明 | 8V-15W 藍、綠濾色片 |
反射照明 | 8V-12W 磨砂燈泡 綠色濾色片 | ||
斜照明 | 8V-15W | ||
電 源 | AC 220V±10% 50/60HZ | ||
光學系統 | 目 鏡 | BWF 10X | |
物 鏡 | 4X 工作距離17.5 焦距28.8 | ||
10X 工作距離11.6 焦距15.4 | |||
40X 工作距離0.66 焦距4.4 | |||
本儀器采用光柵尺和數據箱，并配有計算機圖象處理系統。還可選配增加視頻圖像系統，在計算機屏幕上直接瞄準。
通過計算機接口和二維測量程序可使被測工件的輪廓直接構圖在計算機屏幕上，由AutoCAD進行編輯。
二維測量程序包括點、線、園、弧、直線度、園度、螺紋、凸輪等測量功能。
本儀器放大倍數高，工作臺除作X，Y坐標的移動外，還可以作360°的旋轉，亦可以進行高度方向Z坐標的測量。照明系統除作透、反射照明外，還有斜光線照明。
測量顯微鏡107JPC
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