探針式表面輪廓儀

布魯克探針式表面輪廓儀（又稱(chēng)“臺(tái)階儀"）歷今四十載，積累大量專(zhuān)有技術(shù)。從傳統(tǒng)的二維表面粗糙度和臺(tái)階高度測(cè)量，到更高級(jí)的三維表面成像和薄膜應(yīng)力測(cè)試，Dektak臺(tái)階儀適用面極廣，為用戶(hù)提供準(zhǔn)確性高，重復(fù)性佳的測(cè)量結(jié)果。

在教育、科研領(lǐng)域和半導(dǎo)體制程控制，Dektak用于膜厚、應(yīng)力、表面粗糙度和面形的測(cè)量。近幾年，Dektak系統(tǒng)已經(jīng)成為發(fā)展的太陽(yáng)能電池市場(chǎng)越的測(cè)試工具，也被許多主要的光伏太陽(yáng)能電池制造商所認(rèn)可。

DektakXT

桌面型探針式表面輪廓儀

布魯克DektakXT®臺(tái)階儀設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了更高的重復(fù)性和分辨率，垂直高度重復(fù)性高達(dá)4埃。這項(xiàng)測(cè)量性能的提高，達(dá)到了過(guò)去四十年Dektak®體系技術(shù)的，更加穩(wěn)固了其行業(yè)中的地位。不論應(yīng)用于研發(fā)還是產(chǎn)品測(cè)量，在研究工作中的使用是的DektakXT地功能更*，操作更簡(jiǎn)便易行，檢測(cè)過(guò)程和數(shù)據(jù)采集也更加*。技術(shù)的突破也實(shí)現(xiàn)了納米尺度的表面輪廓測(cè)量，從而可以的應(yīng)用于微電子器件，半導(dǎo)體，電池，高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學(xué)領(lǐng)域。

探針式輪廓儀的黃金標(biāo)準(zhǔn)

DektakXT®探針式輪廓儀的突破設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了垂直高度重復(fù)性高達(dá)4埃，數(shù)據(jù)采集能力提高了40%。這一里程碑的和突破，使得DektakXT實(shí)現(xiàn)了納米尺度的表面輪廓測(cè)量，從而可以的應(yīng)用于微電子器件，半導(dǎo)體，電池，高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學(xué)領(lǐng)域。

技術(shù)四十余載，不斷突破用攀高峰

Dektak品牌是基于微處理器控制的輪廓儀，實(shí)現(xiàn)微米測(cè)量的臺(tái)階儀，臺(tái)可以達(dá)到3D測(cè)量的儀器，臺(tái)個(gè)人電腦控制的輪廓儀，臺(tái)全自動(dòng)300mm臺(tái)階儀。現(xiàn)在，全新的DektakXT延續(xù)了這種性的風(fēng)格，成為臺(tái)采用具有具有單拱龍門(mén)式設(shè)計(jì)，配備D攝像機(jī)，并且利用64位同步數(shù)據(jù)處理模式完成測(cè)量和操作效率的臺(tái)階儀。

提高測(cè)量和數(shù)據(jù)分析速度

次采用高速的直接驅(qū)動(dòng)掃描樣品臺(tái)，DektakXT在不犧牲分辨率和基底噪音水平的前提下，大大縮短了每次掃描的間隔時(shí)間，將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高40%。另外，DektakXT采用布魯克具有64位數(shù)據(jù)采集同步分析的Vision64，可以提高大范圍3D形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度，并且可以加快數(shù)據(jù)濾波和多次掃描數(shù)據(jù)庫(kù)分析的速度。

提高操作的可重復(fù)性

使用單拱龍門(mén)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)更堅(jiān)硬持久不易彎曲損壞，而且降低了周?chē)h(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響。DektakXT會(huì)把系統(tǒng)和環(huán)境噪音引起的測(cè)量誤差降到，能夠更的掃描高度小于10nm的臺(tái)階，獲得其形貌特征。

*的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

與DektakXT的性設(shè)計(jì)相得益彰的配置是布魯克Vision64操作分析軟件。Vision64提供了操作上實(shí)用簡(jiǎn)潔的用戶(hù)界面，具備智能板塊，可視化的使用流程，以及各種參數(shù)的自助設(shè)定以滿(mǎn)足用戶(hù)的各種使用要求，快速簡(jiǎn)便的實(shí)現(xiàn)各種類(lèi)型數(shù)據(jù)的采集和分析。

簡(jiǎn)便易行的實(shí)驗(yàn)操作系統(tǒng)

DektakXT新穎的探針的部件自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)裝置，可以盡量避免用戶(hù)在裝針的過(guò)程中出現(xiàn)針尖損傷等意外。為盡可能滿(mǎn)足所有應(yīng)用的需求，布魯克提供各種尺寸的標(biāo)準(zhǔn)探針和特制探針。

的保證

DektakXT的測(cè)量重復(fù)性為工程師們提供準(zhǔn)確的薄膜厚度和應(yīng)力測(cè)量，使其可以調(diào)節(jié)刻蝕和鍍膜工藝來(lái)提高產(chǎn)品的優(yōu)良率。

技術(shù)細(xì)節(jié)

Close up photograph of Dektak stylus tip measuring features on a silicon wafer.

Photograph of tip exchange on DektakXT. Tip exchange assembly makes changing tip sizes easy.

DektakXT儀器特性

的性能和優(yōu)于4埃 lt;4 ?）的測(cè)量重復(fù)性

· 單拱龍門(mén)式設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了突破性的掃描穩(wěn)定性

· 的"智能化電子器件"實(shí)現(xiàn)了低噪聲的新

且易于使用

· 直觀化的Vision64TM軟件簡(jiǎn)化了用戶(hù)界面的操作過(guò)程

· 的傳感器設(shè)計(jì)使得在單一平臺(tái)上即可實(shí)現(xiàn)超微力和較大的力測(cè)量

· 自對(duì)準(zhǔn)的探針設(shè)計(jì)使用戶(hù)可以地更換探針

探針式輪廓儀的

· 完備的零配件為您優(yōu)化或延伸機(jī)臺(tái)的多種應(yīng)用提供保障

過(guò)去四十多年間，布魯克的臺(tái)階儀研制和生產(chǎn)一直在理論和實(shí)踐上不斷實(shí)現(xiàn)性成果——