原子力顯微鏡的工作模式是以針尖與樣品之間的作用力的形式來分類的。主要有以下3種操作模式:接觸模式(contact mode) ,非接觸模式( non - contact mode) 和敲擊模式( tapping mode)。
特征:
u 低漂移和低噪音水平
u 配置有專有ScanAsys原子成像優(yōu)化技術,可以簡易快速穩(wěn)定成像
u 測試樣品尺寸可達:直徑210mm,厚度15mm
u 溫度補償位置傳感器使Z軸和X-Y軸的噪音分別保持在亞-埃級和埃級水平,并呈現(xiàn)出的高分辨率。
u 全新的XYZ閉環(huán)掃描頭在不損失圖像質(zhì)量的前提下大大提高了掃描速度。
u 探針和樣品臺的開放式設計使Icon 可勝任各種標準和非標準的實驗。
u 的布魯克AFM的模式和技術,如高次諧波共振模式,和的不失真高溫成像技術--采用對針尖和樣品同時加熱的,程度減少針尖和樣品之間的溫差,避免造成成像失真。
部分選擇項:
參數(shù):
X-Y掃描范圍: 90µm x 90µm(標準), 85µm (小)
Z掃描范圍: 10um(標準成像與壓力模式),(小)
X-Y噪聲(閉環(huán)): ≤ nm RMS,標準成像帶寬,(可達625 Hz)
Z噪聲(閉環(huán)): 35pm RMS,標準成像帶寬,(可達625HZ)
50pm RMS,力曲線帶寬,()
非線性積分(X-Y-Z): <%
樣品大小: 真空吸盤210mm,直徑 ≤210mm,厚度 ≤15mm
電動定位平臺(X-Y): 180mm × 150mm 檢測區(qū)域;
2µm重復性, 單向;
3µm 重復性,雙向;
光學顯微鏡: 500萬像素的數(shù)碼相機;
180微米至1465μm可視面積;
數(shù)碼變焦和機動焦點
控制器: NanoScope V
工作臺: 整合了所有控制器,符合物理和人體工學設計
隔振裝置: 集成化,氣動
隔音裝置: 可在連續(xù)85DBC環(huán)境下連續(xù)工作














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