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北京亞科晨旭科技有限公司
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E1550-初步小規模生產的臥式爐

產品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準
  • 產品型號：臥式熱反應系統
  • 品牌：
  • 產品類別：其他電子產品制造設備
  • 所在地：
  • 信息完整度：
  • 樣本：
  • 更新時間：2023-01-05 09:38:28
  • 瀏覽次數：12
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北京亞科晨旭科技有限公司

其他

  • 經營模式：其他
  • 商鋪產品：522條
  • 所在地區：
  • 注冊時間：2015-02-22
  • 最近登錄：2023-01-05
  • 聯系人：紹兵
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產品簡介

E1550-初步小規模生產的臥式爐 centrothermE1550化系統，支持多種工藝能力，適用于中等生產能力和高工藝性能用戶，是一款安全、可靠、易于維護的臥式擴散爐平臺

詳情介紹

E1550-初步小規模生產的臥式爐


centrotherm E1550化系統，支持多種工藝能力，適用于中等生產能力和高工藝性能用戶，是一款安全、可靠、易于維護的臥式擴散爐平臺。該爐可高達4層石英管或SiC工藝管， 其硅片尺寸可達300毫米的。憑借其低維護和運行成本、及占地面積小等優勢， E1550可以生產出成本效益的產品。

特點：

適用于常壓以及LPCVD和PECVD工藝
特殊工藝腔體3或4種版本可供選擇
的冷卻系統:不同爐管之間沒有熱干擾
全自動片架傳送系統
模塊化部件設計，便于在潔凈室安裝調試


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