CAMTEK 自動光學(xué)檢驗 2D檢測設(shè)備 Eagle-I

亞科電子的合作伙伴CAMTEK公司總部位于以色列，是一家致力于自動光學(xué)檢驗的設(shè)備商。CAMTEK主要的檢測領(lǐng)域包括：Wafer、PCB、HDI。 Wafter 檢測設(shè)備主要用于檢測Bump, RDL, Pad, UBM, Via，化合物CD關(guān)鍵尺寸等。

CAMTEK產(chǎn)品主要分為半導(dǎo)體和PCB（PCB制版過程中及成品的AOI測試)兩大部分。他們半導(dǎo)體和PCB是分開的。半導(dǎo)體分為前道制程（磨拋后劃傷及顯圖形化等的AOI測試，型號為GANNET）和芯片成品后劃片前和后的AOI測試（型號為FALCON系類和CONNOR系類）。

一、檢測原理：

他們的檢測原理與MVP有點類似，都是通過工業(yè)相機(jī)進(jìn)行圖像采集，然后用影像處理軟件對圖像進(jìn)行分析，對于不同的檢測應(yīng)用，他們的軟件中有的算法來做判斷。所以他們的產(chǎn)品優(yōu)勢在于影像處理的硬件和軟件方面。

二、主要應(yīng)用領(lǐng)域：

CMOS傳感器陣列，LED，MEMS，TSV，mBUMP等。

產(chǎn)品介紹

1. Eagle-I

Eagle是大量產(chǎn)的2D檢測設(shè)備，采用了CAMTEK進(jìn)的檢測系統(tǒng)。

2. Eagle-AP(3D/2D)

Eagle是大量產(chǎn)的2D檢測設(shè)備，采用了CAMTEK進(jìn)的檢測系統(tǒng)。

1. EagleT-i

EagleT-i是AOI市場上2D檢測速度快的設(shè)備之一，其中囊括了CAMTEK進(jìn)的機(jī)構(gòu)、新的鏡頭、速的傳輸信道。

明場與暗場：

晶體薄膜樣品明暗場像的襯度（即不同區(qū)域的亮暗差別），是由于樣品相應(yīng)的不同部位結(jié)構(gòu)或取向的差別導(dǎo)致衍射強(qiáng)度的差異而形成的，因此稱其為衍射襯度，以衍射襯度機(jī)制為主而形成的圖像稱為衍襯像。如果只允許透射束通過物鏡光欄成像，稱其為明場像；如果只允許某支衍射束通過物鏡光欄成像，則稱為暗場像。

直白的說：反射光與光源角度相同。明場：光線反射后進(jìn)入照相機(jī)。暗場：光線反射后未進(jìn)入照相機(jī)。

一般觀察表面形貌用明場比較多，觀察缺陷用暗場比較多。

色譜共焦位移傳感器技術(shù)（CCS）：

定義：由光源射出一束寬光譜的復(fù)色光（呈白色），通過色散鏡頭發(fā)生光譜色散，在一條軸線上形成一系列不同波長的單色光，每一個波長都對應(yīng)一個到被測物體的距離值。物體表面將照射光反射回來，通過共聚焦小孔過濾，只有滿足共焦條件的單色光，可以通過小孔被光譜儀感測到。通過計算被感測到的波長，換算獲得距離值。

特點：

◆亞微米級分辨率；與光強(qiáng)度無關(guān),與被測體反射系數(shù)無關(guān)；
◆易操作且動態(tài)測量可以達(dá)到很高的測量頻率，匹配自動化的需求。操作人員不需要經(jīng)過的培訓(xùn)也能得到可靠的測量結(jié)果；
◆與三角反射法不同,幾乎無反射角要求,且無反射平面阻擋之影響,因此可用于小孔深度測量；

◆可以計算面積，厚度或體積；
◆可進(jìn)行平整度的測量，高度或位置的測量；

激光三角法測量表面形貌（CTS）

激光器的軸線、成像物鏡的光軸以及CCD線陣,三者位于同一個平面內(nèi)。激光光源作為測量的指示光源，將一個理想的點光斑投射在被測表面上。該光斑將隨其投射點位置的深度坐標(biāo)變化而沿著激光器的軸向作同樣距離的位移。點光斑同時又通過物鏡成像在CCD線陣上，且成像位置與光斑的深度位置有的對應(yīng)關(guān)系。測出CCD線陣上所成實像的中心位置，即可通過幾何光學(xué)的計算求出光斑此刻的深度坐標(biāo)，從而得到被測表面該點處的深度參數(shù)。通過對若干采樣點的測量，得到被測表面形貌的一組數(shù)據(jù)。這種基本的光學(xué)三角法測量屬于逐點測量。

2）掃描光條代替點光源：

采用光條法,測量中投射到被測表面的是形的光斑,同時測量一定寬度范圍內(nèi)的表面形貌.再輔以相對于被測表面垂直于光條方向的掃描運(yùn)動,則一定面積的被測表面可以連續(xù)地進(jìn)行測量,大大提高了測量的效率