目前已有數(shù)千臺設(shè)備安裝在世界各地,被地應(yīng)用于MEMS微機電系統(tǒng)/微流體器件,SOI基片制造,3D封裝,納米壓印,化合物半導(dǎo)體器件和功率器件等領(lǐng)域。
EVG光刻機主要應(yīng)用于半導(dǎo)體光電器件、功率器件、微波器件及微電子機械系統(tǒng)(MEMS)、硅片凸點、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域,涵蓋了微納電子領(lǐng)域微米或亞微米級線條器件的圖形光刻應(yīng)用。
三、主要特點
自動的微米計控制曝光間距
的全局光強均勻度
高度自動化系統(tǒng)
















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