E2000-大批量生產的臥式爐
centrotherm 2000專為大批量生產而設計,支持多種工藝能力,適用于大批量生產和高工藝性能的用戶,并具有突出的、占地面積小、低購置成本等優勢。該產品對多種應用要求的高工藝具有的靈活性,并可高達4層石英管或硅片尺寸可達300毫米的SiC工藝管
特點:
適用于常壓以及LPCVD和PECVD工藝
特殊工藝腔體3或4種版本可供選擇
的冷卻系統:不同爐管之間沒有熱干擾
全自動片架傳送系統
模塊化部件設計,便于在潔凈室安裝調試
北京亞科晨旭科技有限公司
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E2000-大批量生產的臥式爐 centrotherm2000專為大批量生產而設計,支持多種工藝能力,適用于大批量生產和高工藝性能的用戶,并具有突出的、占地面積小、低購置成本等優勢
E2000-大批量生產的臥式爐
centrotherm 2000專為大批量生產而設計,支持多種工藝能力,適用于大批量生產和高工藝性能的用戶,并具有突出的、占地面積小、低購置成本等優勢。該產品對多種應用要求的高工藝具有的靈活性,并可高達4層石英管或硅片尺寸可達300毫米的SiC工藝管
特點:
適用于常壓以及LPCVD和PECVD工藝
特殊工藝腔體3或4種版本可供選擇
的冷卻系統:不同爐管之間沒有熱干擾
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