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北京亞科晨旭科技有限公司
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EVG 805 Debonding System

產品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準
  • 產品型號：evg
  • 品牌：
  • 產品類別：其他電子產品制造設備
  • 所在地：
  • 信息完整度：
  • 樣本：
  • 更新時間：2023-01-05 12:13:55
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北京亞科晨旭科技有限公司

其他

  • 經營模式：其他
  • 商鋪產品：522條
  • 所在地區：
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  • 最近登錄：2023-01-05
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產品簡介

EVG 805 DebondingSystemEVG 805 脫膠系統 薄晶圓脫膠 EVG805是半自動系統，用于剝離臨時粘合和加工過的晶圓疊層，該疊層由器件晶圓，載體晶圓和中間臨時粘合膠組成

詳情介紹

EVG 805 Debonding System

EVG 805 脫膠系統

薄晶圓脫膠

EVG805是半自動系統，用于剝離臨時粘合和加工過的晶圓疊層，該疊層由器件晶圓，載體晶圓和中間臨時粘合膠組成。 該工具支持熱剝離或機械剝離。 可以將薄晶圓卸載到單個基板載體上，以在工具之間地運輸。

特征

開放式膠粘劑平臺

脫膠選項：

熱滑脫膠

脫膠

機械脫膠

配方控制系統

實時監控和記錄所有相關過程參數

薄晶圓處理的功能

多種卡盤設計，可支撐zui大300 mm的晶圓/基板和載體

高形貌的晶圓處理

技術數據


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