EVG 850 Automated Production Bonding System for SOI

EVG 850 SOI的自動化生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)

自動化生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)，適用于多種融合/分子晶圓鍵合應(yīng)用

技術(shù)數(shù)據(jù)

SOI晶片是微電子行業(yè)有望生產(chǎn)出更快，性能更高的微電子設(shè)備的有希望的新基礎(chǔ)材料。晶圓鍵合技術(shù)是SOI晶圓制造工藝的一項關(guān)鍵技術(shù)，可在絕緣基板上實現(xiàn)高質(zhì)量的單晶硅膜。借助EVG850 SOI生產(chǎn)粘合系統(tǒng)，SOI粘合的所有基本步驟-從清潔和對準(zhǔn)到預(yù)粘合和紅外檢查-都結(jié)合了起來。因此，EVG850確保了高達300 mm尺寸的無空隙SOI晶片的高產(chǎn)量生產(chǎn)工藝。EVG850是在高通量，高產(chǎn)量環(huán)境下運行的生產(chǎn)系統(tǒng)，已被確立為SOI晶圓市場的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

特征

生產(chǎn)系統(tǒng)可在高通量，高產(chǎn)量環(huán)境中運行； 自動盒帶間或FOUP到FOUP操作

的背面處理； 超音速和/或刷子清潔

機械平整或缺口對齊的預(yù)粘合； 的遠程診斷

晶圓直徑（基板尺寸）：100-200、150-300毫米

全自動盒帶到盒帶操作