憑借寬敞 30% 的視場快速檢驗 6" 晶片
適用于行業日常應用的新型 DM3 XL 檢驗系統
微電子和半導體行業的檢驗、流程控制或缺陷和故障分析必須又快又準。為此，徠卡公司針對日常應用開發出高效能的 DM3 XL 檢驗系統。
DM3 XL 檢驗系統提供一種的宏觀物鏡，視場達到 35.7 mm，比常規掃描物鏡寬敞 30%。操作員可輕松快速地掃描高達 6” 的大型組件并迅速檢測缺陷。邊緣或晶片中心顯影不足的區域以及不均勻的徑向膜厚度均清晰可見。
針對各種樣品尺寸類型，DM3 XL 系統可提供不同的載物臺插件選擇，例如金屬插件、晶片支座或掩模支座。操作員可在載物臺上輕松定位樣品和感興趣區域。150 mm x 150 mm 載物臺幫助用戶實現快速的粗略或精準載物臺定位。
舒適的工作條件可實現更高的效率和更上乘的質量，因此徠卡公司設計出一套高度方便用戶的操作理念。憑借易于操作的控件，用戶可在切換對比技術或照明時，將雙眼專注于樣品之上，雙手操作顯微鏡。借助集成 LED 照明，DM3 XL 系統可提供恒定的色溫，并能夠在所有照明強度下提供真彩色成像。
選擇軟件模塊和適用于高效、高品質分析和記錄的顯微鏡攝像頭，即可輕松升級。
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