介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類 內置了98種氣體，請參考背面

一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量 程 從0 - SCCM 到 0 - 1000 SLPM

測量范圍 ～99%

顯示流量 128%滿量程

顯 示 屏 帶按鍵背光開關，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精 度 ± （%讀數 + %滿量程）見上段精度升級部分

± （%讀數 + %滿量程）（可選）

累計流量精度 流量精度之外增加±%額外誤差

重 復 性 ±（%讀數+%滿量程）

質量流量溫度漂移 %滿量程當溫度從25℃起每變化1℃

質量流量壓力漂移 ±（ % 讀數 + % 滿量程）當壓力從標定壓力起，每變化1bar

響應時間 優于10 ms