石英振動體型

實現低損傷和高清潔度的下一代清潔

2006年，石英振動體式超聲波清洗機組在世界上投入實際使用。
在該方法中，通過在石英振蕩器上疊加超聲波來清潔半導體晶片。
與間歇式清洗和流水式清洗相比，可以減少化學品的使用量，并且由于接液部分僅為石英玻璃，并且填料等橡膠材料不與液體接觸，因此可以保持高清潔度
另外，根據用途準備石英振子的形狀，可以滿足低損傷清洗、大面積清洗、斜面部分（端面）和槽口（晶圓端面的槽口）的清洗等需求. 它可以實現清潔。

概述

特征：

清洗具有低損傷的微型圖案的晶片
將超聲波疊加在石英振蕩器上以清洗
半導體晶片 將化學溶液浸入半導體晶片中并通過石英玻璃傳播超聲波振動，接觸區域化學溶液振動并加速去除表面的污垢。
實現對半導體晶圓損傷少的清潔清潔 與
化學品接觸的部分使用石英，與包裝等使用橡膠材料的設備相比，沒有橡膠的溶出或磨損，可實現清潔清潔。
具有振子冷卻功能，通過氣體（氮氣等）冷卻振子，可實現無頻率波動的穩定連續運行。
此外，通過冷卻，沒有突然的溫度變化，延長使用壽命。

去除抗蝕劑殘留物磨邊后，灰化后去除聚合物柵電極清潔CMP 后清潔

規格

■ 振蕩器

可變輸出范圍：0W 至 12W（振動體的允許輸入：使用空氣吹掃來冷卻振蕩器時連續 10W）
工作環境：溫度：15 至 35°C，濕度：10 至 85%
外部驅動觸點額定值：超聲波振蕩控制（控制側） 接點輸入：DC12V 16mA 以上
報警輸出（儀表） 接點容量：DC24V 0.5A
附屬電纜：電源線（100V 2m / 200V 3m）、控制線（5m）x4

振動體

工作液體溫度范圍：20 至 50 ℃
振蕩器：PZT
材料：振動體：石英玻璃，填料：硅橡膠，外殼：PCTFE
線長：輸出線 1.5m + 中繼線 3.5m
空氣凈化配件：兼容管子（外徑φ6）

2MHz 和 3MHz 也可作為定制規格提供。