劃片機：
AD3000T-HC PLUS

12英寸兼容全自動劃片機
通過在晶圓處理和框架處理之間自動切換，有助于降低切換和停機風險。

特征

新圖形用戶界面

• WH/FH 自動切換

  通過在晶圓處理和框架處理之間自動切換，它有助于降低切換和停機的風險。

• FOUPS Opener 標準設備

  FOUP 蓋的自動打開和關閉降低了批量處理過程中晶圓破損和感染污染的風險。

• 作為標準安裝的非接觸式工件厚度傳感器

  配備空氣微傳感器，可測量工件厚度

• 通過縮小選件單元和優化內部設計，可以內置主選件單元。

• 標配轉速6萬轉的主軸

  （80,000 rpm 規格可供選擇）

• 增加吞吐量

  (1) X 軸速度 1,000 毫米/秒，Y 軸速度 300 毫米/秒，Z 軸速度 80 毫米/秒
  (2) 配備兩個光學刀具組 (
  3) 世界上小的刀片間距

• 17英寸觸摸屏液晶顯示器+GUI

  配備GUI（圖形用戶界面），易于閱讀的屏幕配置和大按鈕提高了可操作性，并采用了交互式且易于理解的輸入格式。

• 配備小腿檢查功能，無需復雜的參數設置

  （AI小腿檢查功能）

• 可在 HDD 中管理 10,000 多個配方數據

• 標配USB接口

  （USB 存儲器可用作外部存儲設備）

• 提高可維護性

  通過增加前檢修門的尺寸來提高可維護性

• 切割臺面內校正功能（Active-Z）

  通過修正工作臺表面的高度變化，實現的高度控制

安裝空間

與傳統型號相比，AD3000T-HC PLUS 成功地縮小了尺寸。