產品簡介
■ 集成原子力顯微鏡(AFM)、摩擦力顯微鏡(LFM)、掃描隧道顯微鏡(STM)、磁力顯微鏡(MFM)和靜電力顯微鏡(EFM)
■ 原子力顯微鏡具有接觸、輕敲、相移成像、抬起等多種工作模式
■ 具有I-V曲線和力曲線等測量分析功能
■ 具有圖形刻蝕模式和矢量掃描模式的納米加工技術
■ 樣品尺寸增大至直徑50mm、厚度30mm
■ 操作簡便，只需要更換探針架，即可切換于STM和AFM等模式
詳情介紹
| 掃描探針顯微鏡（國產） 型號:CSPM4000 | | 技術參數
■ 集成原子力顯微鏡（AFM）、摩擦力顯微鏡（LFM）、掃描隧道顯微鏡（STM）、磁力顯微鏡（MFM）和靜電力顯微鏡（EFM）
■ 原子力顯微鏡具有接觸、輕敲、相移成像、抬起等多種工作模式
■ 具有I-V曲線和力曲線等測量分析功能
■ 具有圖形刻蝕模式和矢量掃描模式的納米加工技術
■ 樣品尺寸增大至直徑50mm、厚度30mm
■ 操作簡便，只需要更換探針架，即可切換于STM和AFM等模式
■ 主控制系統采用德州儀器（TI）32位數字信號處理器（DSP）,每秒可實現高達10億次32位運算
■ 主控制系統采用10M/100M快速以太網（Fast Ethernet 10/100）與計算機連接
■ 全數字控制,系統狀態、儀器類型、掃描器和探針架參數智能識別和控制
■ 基于Windows XP/2000/9X的在線控制軟件和后處理分析軟件
■ 掃描圖像BMP/TIFF全兼容文件格式，當前全部工作環境參數同步保存
■ 可連續采集、存儲和重現動態過程（納米電影）
■ 樣品粒度和粗糙度自動分析
■ 針尖表征及圖像重建功能（針尖形貌估計/圖像重建/樣品模擬掃描/用已知針尖重建圖像）
■ 按功能模塊劃分的縱向插卡式結構，便于日后系統維護和升級
■ 可附加第二顯示器和光學顯微輔助系統
技術指標
• 系統功能
原子力顯微鏡（AFM），包括接觸、輕敲、相移成像（Phase Imaging）、抬起等多種工作模式
摩擦力顯微鏡（LFM）
掃描隧道顯微鏡（STM）
納米加工和操縱，包括圖形刻蝕模式和矢量掃描模式
• 分辨率
原子力顯微鏡（AFM）：橫向 0.26nm, 垂直 0.1nm（以云母晶體標定）
掃描隧道顯微鏡（STM）：橫向 0.13nm, 垂直 0.01nm（以石墨晶體標定）
• 參數性能
電流檢測靈敏度：≤10pA 力檢測靈敏度：≤5pN
圖像分辨率：128X128,256X256,512X512,1024X1024
掃描角度：0～360°
掃描頻率：0.1～100Hz
預置隧道電流：0.001～10nA
偏置電壓：-10～+10V
• 電子控制系統
處理器：德州儀器（TI）32位數字信號處理器（DSP），運算速度150MHz
20通道16-bit DAC，建立時間1.5微秒
20通道16-bit ADC，采樣率500kHz
通信接口：10M/100M快速以太網（Fast Ethernet 10/100）接口
• 機械性能
樣品尺寸：zui大可達直徑50mm，厚度30mm
全自動步進電機控制進樣系統：行程30mm，定位精度50nm /步
• 計算機系統
Pentium4-2.8GHz，256MB RAM，80GB HDD，CD-ROM，17”液晶顯示器
基于Windows XP/2000/9X的在線控制軟件和后處理軟件
CSPM4000掃描探針顯微鏡是本原歷經18年技術積淀而推出的新一代產品，在控制系統性能、探頭結構和性能、軟件 功能等方面均有大幅技術提升。CSPM4000同時也是本原公司所承擔的高技術研究發展計劃（863計劃）項目——“掃描探針 顯微集成系統的研制”項目的成果轉化產品，集成了本公司在該項目攻關過程中所取得的多項技術創新。
CSPM4000采用單一的掃描隧道/原子力探頭，集成掃描隧道、原子力、摩擦力、磁力和靜電力顯微鏡功能，工作模式包括 接觸、輕敲、相移成像、抬起和納米加工等。
CSPM4000采用32位浮點數字信號處理器、10M/100M快速以太網接口和高速雙16位 AD/DA采集轉換，系統功能、穩定性、控制采集精度和速度及可擴展性均為國內同類儀器的zui高水平。
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