這套紅外顯微鏡專門為微電子研發(fā)和制造而設(shè)計(jì)的紅外成像顯微和熱成像顯微鏡，它是一款科研級(jí)顯微熱成像儀,顯微熱像儀，在微米尺度給出電子器件和芯片的溫度分布，能夠非接觸式地測(cè)量電子器件的溫度分布，查找熱點(diǎn)hotspots.
這套熱成像顯微鏡thermal imaging microscope 對(duì)于分析和診斷半導(dǎo)體器件熱表現(xiàn)非常有用，可用于探測(cè)熱點(diǎn)和缺陷,電子元件和電路板故障診斷,測(cè)量結(jié)溫,甄別芯片鍵合缺陷,測(cè)量熱阻封裝,確立熱設(shè)計(jì)規(guī)則等領(lǐng)域。
紅外顯微鏡可以有效地檢測(cè)微尺度半導(dǎo)體電路的熱問(wèn)題和MEMS器件的熱問(wèn)題。
就MEMS的研發(fā)而言：空間溫度分布和熱響應(yīng)時(shí)間這兩個(gè)參數(shù)對(duì)于微反應(yīng)器,微型熱交換器,微驅(qū)動(dòng)器,微傳感器之類的MEMS器件非常重要。到目前為止，還有非接觸式的辦法測(cè)量MEMS器件的溫度，紅外成像顯微鏡能夠給出20微米空間分辨率的熱分布圖像，是迄今為止測(cè)量MEMS器件熱分布的有力工具。
這套包括了一些非常重要的硬件，這些硬件對(duì)于分析和診斷半導(dǎo)體器件非常有用。
光學(xué)載物臺(tái)：堅(jiān)固而耐用，具有隔離振動(dòng)的功能；
聚焦位移臺(tái)：用于相機(jī)的精密聚焦和定位；
X-Y位移臺(tái)：用于快速而精密地把測(cè)量區(qū)域定位到相機(jī)的視場(chǎng)中；
熱控制臺(tái)： 具有加熱和制冷功能，用于精密器件的溫度控制；
熱成像顯微鏡應(yīng)用
半導(dǎo)體IC裸芯片熱檢測(cè)
探測(cè)集成電路的熱點(diǎn)（hotspots）和短路故障
探測(cè)并找到元件和電路板上缺陷
測(cè)量半導(dǎo)體結(jié)點(diǎn)溫度（結(jié)溫）
辨別固晶/焊線/點(diǎn)膠缺陷
測(cè)量封裝熱阻
確立熱設(shè)計(jì)規(guī)則
激光二極管性能和失效分析
MEMS熱成像分析
光纖光學(xué)熱成像檢測(cè)
半導(dǎo)體氣體傳感器的熱分析
測(cè)量微交換器的熱傳輸效率
微反應(yīng)器的熱成像測(cè)量
微激勵(lì)器的溫度測(cè)量
生物標(biāo)本溫度分析
材料的熱性能檢測(cè)
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