真空系統計算的目的在于給正確選擇真空系統的真空泵、真空閥門、真空管道及各種配件提供依據。設計真空系統，首先要根據使用技術要求計算，從而確定合適的真空泵。根據真空泵的規格，再配置相應的真空闊門和真空管道。配置真空泵包括確定選擇什么樣的真空泵和真空泵的大小(即真空泵抽氣速率的大小)這兩個問題。

　　　　(1)根據使用技術條件，確定選擇真空泵的方案:根據真空熱處理爐使用技術條件及所要求的真空度，確定選擇什么樣的真空泵。低真空的真空熱處理爐，只需配備一個機械真空泵。真空度要求高的真空熱處理爐，需要幾級真空泵串聯，才能滿足使用真空度的要求。泵的串聯有增壓泵一機械真空泵。擴散泵一增壓泵一機械真空泵。擴散泵一機械真空泵等方式。在幾級泵串聯的系統中，要先確定高真空的主泵，根據主泵確定與之相匹配的前級泵。選擇主泵時，泵的極限真空度要高于真空熱處理爐的極限真空度1^-2個數量級。

　　(2)真空泵抽氣速率的計算:真空泵的抽氣速率，根據真空熱處理爐的放氣量進行計算。真空熱處理爐在工作過程中所放出的氣體可分為四類:爐料(被處理的材料)的放氣。真空熱處理爐內壁及內部構件表面，因壓強降低，溫度升高，解析出的氣體。隔熱層爐襯的放氣以及真空熱處理爐因泄漏滲入爐內的氣體。真空熱處理爐總的放氣量。