(1)為了提高真空系統(tǒng)的抽氣速率，可以采用真空泵的并聯(lián);為了提高極限真空度，可以采用真空泵的串聯(lián)。

　　(2)真空管道盡可能取長度短些、直徑大些，盡量少出現(xiàn)彎管，少采用直角彎頭，以保證管道有足夠大的通導(dǎo)能力。高真空管道直徑應(yīng)不小于油擴散泵進(jìn)口直徑，前級真空管道直徑，等于前級真空泵進(jìn)氣口直徑。

　　(3)為了防止機械泵及羅茨泵的機械震動對真空系統(tǒng)的影響，機械泵及羅茨泵與管道之間應(yīng)安裝橡皮軟管或金屬波紋管作為減震裝置。

　　(4)爐子工作過程中產(chǎn)生的氣體或灰塵，影響真空泵的正常運行和使用壽命。以及為了防止真空泵的油蒸氣返流進(jìn)入真空室，真空系統(tǒng)應(yīng)考慮設(shè)置過濾器和捕集器。

　　(5)為了破壞真空室的真空，在真空室和真空泵附近，應(yīng)設(shè)置手動或電磁真空放氣閥。

　　(6)真空閥門的設(shè)置，應(yīng)能分段檢查真空泵的工作，并能在操作過程中切換真空泵和管路。

　　(7)真空規(guī)管應(yīng)設(shè)置在真空室沒有油蒸氣污染處和真空泵附近。

　　(二)真空系統(tǒng)的組成

　　(1)真空泵

　　(2)真空測量裝置

　　以上兩部分前面已作介紹

　　(3)真空閥門:真空閥門是真空系統(tǒng)中的重要部件，其作用是用以接通或截止氣流。真空系統(tǒng)要求真空閥門對氣流有較大的道導(dǎo)能力，動作時間短，密封性好。真空閥門種類較多，從性能上，可分為低真空閥門、高真空閥門、超高真空閥門。從動作.上可分為手動、氣動、電動。焙燒爐從結(jié)構(gòu)上分有截止閥、插板閥、翻板悶、裸閥等。現(xiàn)將真空熱處理爐常用的真空閥門介紹如下:

　　a)GDQ-J系列高真空氣動擋板閥:該閥門用于高真空系統(tǒng)，接通或截止氣流。閥門用氣壓驅(qū)功，可以遠(yuǎn)距離操作，工作可靠，性能穩(wěn)定，但結(jié)構(gòu)復(fù)雜，維修不便，價格較貴。

　　b)GI,GIQ系列高真空蝶閥:GI系列為手動，GIQ系列為氣動。該閥結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，價格便宜。

　　c)GDC-J型、DDC-JQ型電磁真空閥,GDC-J型為高真空擋板式電磁閥，不帶放氣裝置，川于機械泵與擴散泵之間或機械泵與被抽真空室之間，作旁通閥用。DDC-JQ型為低真空擋板式帶放氣裝置的電磁閥，一般安裝在機械泵的進(jìn)口上，與機械泵為同一電71fi'.控制。當(dāng)機械泵啟動時，閥門自動打開，放氣部分關(guān)閉;當(dāng)機械泵停車時，閥門自功關(guān)閉，放氣部分打開，向機械泵內(nèi)放氣，防止機械泵向真空系統(tǒng)返油。