真空熱處理的結構：加熱爐加熱系統（爐膛和加熱元件等）、真空系統、淬火系統、工件轉移機構等幾部分構成。

　　1、外熱式真空熱處理：將工件放在預抽真空的爐罐中，用外熱源加熱爐罐，再將爐罐的熱量通過輻射加熱工件。

　　2、內熱式真空熱處理：電熱元件、隔熱屏、爐床和其它構件均安裝在真空爐的加熱

　　室爐殼內。主要靠電熱元件的直接熱輻射加熱工件。爐殼一般通過雙層水套冷卻，所以又稱冷壁式真空爐。

內熱式真空熱處理的特點（與外熱式真空熱處理爐比較）

　　1）因無耐熱爐罐,加熱溫度范圍廣,可達到1300～2200℃；

　　2）爐子結構復雜造價高,但易實現自動化，工作環境好，操縱安全；

　　3）熱慣性小，熱效率高，生產效率高；

　　4）爐溫均勻好，工件加熱變形小；

　　5）加熱期間通常不用保護氣體，保護氣氛消耗少；

　　6）電熱元件和隔熱屏障等構件在真空高溫下放出大量氣體，需要配備的真空系統容量大。

3、預抽真空熱處理爐：

　　先抽真空再充可控氣氛的熱處理爐（要求爐殼和爐門的密封性好）。兼有真空爐和氣氛爐的優點。節約用氣，設備造價低（用氣量僅一般氣氛爐的1/10，造價是真空爐的1/2～1/3）。可用于光亮退火爐和正火。現可用作滲碳、碳氮共滲和氮碳共滲等。