使用三坐標測量機進行測量之初，通常要*行探針校正。探針校正的意義如下：

1） 正確確定探針的實際位置 使用一根固定的探針，只能測量簡單形狀的工件，對于深孔，長柱或多個復雜的工件測量平面，通常需要使用多個探頭組合或單個探頭多位置旋轉探頭完成測量任務。但是不同位置的探頭會給出不同的坐標值。為了獲得正確的統一坐標值，軟件系統必須自動修改不同位置探頭的坐標差。這些坐標值由探頭校正程序確定并存儲在計算機的內部數據庫中。

2）補償測端球徑與探針撓曲變形誤差 ，有測量力就會有變形，盡管接觸式探針的測量力不是很大，但對于高精度的三坐標測量來說，測量力使得測桿撓曲變形帶來的誤差是不容忽視的。理論和實踐都表明，一根普通的細長探針的撓曲變形可帶來數十微米的誤差，撓曲變形是一個復雜的物理過程，它受測力大小和測桿長短、粗細、材質以及接觸形式等諸多因素的影響。從力學的角度來分析和確定變形量的大小是較困難的，也是不可取的。在三坐標測量的實踐中，是通過測量一已知的實物標準（如標準球、量塊）得到帶有撓曲變形誤差的測端作用直徑。在實際測量中，再和測端作用直徑對它進行補償以獲得精密測量結果。在這一補償中，也在一定程度上補償了動態探測誤差。

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