三坐標測針是三坐標測量儀的測量過程中一部分，主要用來觸測工件表面，使得測頭的機械裝置移位，產生信號觸發并采集一個測量數據。一般的探針都是由一個桿和紅寶石球組成。通過需要測量的特征，您可以判斷應當使用探針的類型和尺寸。在測量過程中，要求探針的剛性和測尖的形狀都達到盡可能的程度。現在大部分三坐標廠家都是采用雷尼紹三坐標測針。
三坐標測針可以分為以下幾類，分別有不同的用途：
一、球形測頭
多用于尺寸, 形象, 坐標測量等；
球直徑一般為0.3 ~ 8.0mm，多樣使用；
材料主要使用硬度高，耐磨性強的工業用紅寶石。

二、星形測針
用于多形態的多樣工件測量；
同時校正并使用多個測頭，所以可以使測頭運動最小化，并測量側面的孔或槽等；
使用和球形測頭一樣的方法進行校正。

三、圓柱形測針
適用于利用圓柱形的側面，測量薄斷面間的尺寸,曲線形象 或加工的孔等；
只有圓柱形的斷面方向的測量有效，軸方向上測量困難的情況很多(圓柱形的底部分加工成和圓柱形軸同心的球模樣時，在軸方向上的測量也可能)；
使用圓柱形測頭整體(高度)時，圓柱形軸和三坐標測量機軸要一致(一般在同一斷面內進行測量)。

四、盤形測針
在球的中心附近截斷做成的盤模樣的測頭；
盤形斷面的形象因為是球，所以校正原理和球形測頭相同；
利用外側直徑部分或厚度部分進行測量；
適用于測量瓶頸面間的尺寸, 槽的寬或形象等的；
利用環規校正較便利

五、點式測針
一般的XY測量時不使用；
用于測量精密度低的螺絲槽,標示的點或裂紋劃痕等；
比起使用具有半徑的點式測頭的情況，可能精密的進行校正，用于測量非常小的孔的位置等。

六、半球式測針
用于測量深處的形象和孔等；
表面粗糙的工件的測量也有效。