1 三坐標測量平面度原理和方法
平面度公差用以限制平面的形狀誤差。其公差帶是距離為公差值的兩平行平面之間的區域。三坐標在測量平面度時，在平面上采取數個測量點，用測量點以最小二乘法擬合一個平面，包容所有測量點的兩個平行平面間的距離為平面度。這兩個平行平面平行于擬合的最小二乘平面。最小二乘法的原理是，所有測量點距離擬合元素（平面、直線、圓、圓柱）的距離的平方和最小。如圖
2三坐標測量平面度的步驟、方法與注意事項
2.1針對工件選擇對應的三坐標測頭配置，粗糙度不同的平面，對平面度的要求是不一樣的。粗糙度越大的平面，盡量選擇直徑較大的探針。
2.2導入CAD模型：選擇。導入ICES文件，建立好工件坐標系讓模型與工件對齊，使用面選擇器選擇樣件的上表面作為實驗案例如圖2，紅色離亮部分為待測區。
圖2
2.3規劃測量路徑：從上述的三坐標對平面度的測量原理得知，測量點數越多反應的被測平面的平面度越真實。因此根據被測平面的長寬為80X80，我們可以編輯一個柵格點的測量路徑，示意圖如3。也可以把我們從CAD上選取的平面PLN1拖人“測量”模塊的“面”圖功能，在數顯取設置測量點數為80后點擊“生成測量點”圇設置如圖4，檢查生成的測量路徑如圖5，點擊“測量”
完成測量步驟。
1.4評估平面度：切換到“公差”模塊的“平面度”功能，拖入已測量的實際平面PLN1到元素名如圖6，輸入公差帶0.02點擊“定義公差”確認設置，完成被測平面的平面度公差評估。
3平面度測量數據處理
三坐標的平面度計算方式與以往所熟悉的計算方法不一樣，不需要使用計算法、作圖法、對角線發等求取平面度的誤差值。都是通過軟件自動計算出被測面得平面度公差，我們只需要輸出公差報告就可以直觀看出平面誤差的“圖形錯誤報告”。步驟如下：
3.1切換到測量報告對話框，將TFIAT1的公差標簽拖入對話框中。
3.2切換到圖形錯誤報告對話框，將面PLN1拖入對話框中，軟件將以彩色云圖的表現方式表示平面的趨勢如圖7，點擊將圖形錯誤報告導人到測量報告對話框中。


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