下面是常用的三坐標測量儀術語和定義
1.三坐標測量儀
通過探頭系統與工件的相對移動，探測工件表面點三維坐標的測量系統。
2.坐標測量機的校準
在規定條件下，為確定三坐標所指示的量值與對應的標準所復現的量值之間關
系的一組操作。
3.坐標測量機的示值誤差
坐標測量機的示值減去被測量的（約定）真值。
4.坐標測量機的測量方案
使用坐標測量機對某工件進行測量時，工件在測量空間的安裝位置，坐標測量機的探針配置，探測點的數目和分布，測量方法（如點位測量、掃描測量、對中測量等），
環境條件，評定方法等的總和。
5.坐標測量機面向任務的校準
在規定條件下，根據特定測量任務和采取的特定測量方案，對坐標測量機進行的校
準。
6.長度實物標準器
7.坐標測量機長度測量的示值誤差(E)
使用坐標測量機測量長度實物標準器上兩點間距離的指示值與真值的差。
8.坐標測量機軸向長度測量示值誤差(E1)
沿坐標測量機運動軸方向的長度測量示值誤差。
9.探測誤差(P)
使用坐標測量機測量標準球半徑的示值變化范圍而確定的誤差。P值適用于標準球安放在坐標測量機測量空間任何位置的情況
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