(SF6檢漏儀)鹵素檢漏儀是指用含有鹵素(氟(fluorine)、氯、溴、碘)氣體(gases)作為示漏氣體的檢漏儀器（appliance）。
   SF6檢漏儀又稱為鹵素檢漏儀、鹵素定性檢漏儀，鹵素檢漏儀，鹵素定性檢漏儀，SF6氣體檢漏儀等。露點(diǎn)儀是能直接測(cè)出露點(diǎn)溫度的儀器。使一個(gè)鏡面處在樣品濕空氣中降溫，直到鏡面上隱現(xiàn)露滴（或冰晶）的瞬間，測(cè)出鏡面平均溫度，即為露點(diǎn)（霜）溫度。它測(cè)濕精度高，但需光潔度很高的鏡面，精度很高的溫控系統(tǒng)，以及靈敏度很高的露滴（冰晶）的光學(xué)探測(cè)系統(tǒng)。使用時(shí)必須使吸入樣本空氣的管道保持清潔，否則管道內(nèi)的雜質(zhì)將吸收或放出水分造成測(cè)量誤差。該類儀器分兩類：其一為傳感器(transducer)(即探頭)與被檢件相連接的稱為固定式(也稱內(nèi)探頭式)鹵素檢漏儀；其二為傳感器(即吸槍)在被檢件外部搜索的稱為便攜式(也稱外探頭式)鹵素檢漏儀。
   鹵素檢漏儀示漏氣體有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯甲烷(carbon tetrachloride)等，其中氟里昂屬。鹵素檢漏儀靈敏度(Sensitivity)可達(dá)3.2×lO-9Pam3／s。

鹵素檢漏儀檢測(cè)原理（Maxim）
      傳感器是個(gè)晶體二極管，加熱（heating ）絲、陰極(cathode )(外筒)、陽極(anode)(內(nèi)筒)均用鉑材制成。陽極被加熱絲加熱后發(fā)射正離子(ion)，被陰極接收的離子流由檢流計(jì)(或放大器)指示出來，且有音響指示。電氣部分由加熱電源(power supply)、直流電源、離子流放大器、輸出顯示及便攜式的吸氣裝置(device)電源等組成。金屬鉑在800～900oC溫度（temperature)下會(huì)發(fā)生正離子發(fā)射，當(dāng)遇到鹵素氣體(gases)時(shí)，這種發(fā)射會(huì)急劇增加。這就是所謂的 ;鹵素效應(yīng) ；利用此效應(yīng)制成了鹵素檢漏儀。
鹵素檢漏儀使用(use)方法(method)
    靈敏度(Sensitivity)、反應(yīng)時(shí)間及恢復(fù)時(shí)間是鹵素檢漏儀的主要性能(xìng néng)參數(shù)(parameter)。露點(diǎn)儀是能直接測(cè)出露點(diǎn)溫度的儀器。使一個(gè)鏡面處在樣品濕空氣中降溫，直到鏡面上隱現(xiàn)露滴（或冰晶）的瞬間，測(cè)出鏡面平均溫度，即為露點(diǎn)（霜）溫度。它測(cè)濕精度高，但需光潔度很高的鏡面，精度很高的溫控系統(tǒng)，以及靈敏度很高的露滴（冰晶）的光學(xué)探測(cè)系統(tǒng)。使用時(shí)必須使吸入樣本空氣的管道保持清潔，否則管道內(nèi)的雜質(zhì)將吸收或放出水分造成測(cè)量誤差。其使用(use)方法(method)與氦質(zhì)譜檢漏儀的相同，這里不再贅述。但是，鹵素檢漏儀（SF6檢漏儀）的指示與鹵素氣體的濃度(concentration)有關(guān)：一般，低濃度的指示是線性的，中等濃度的是非線性的，而當(dāng)濃度很高時(shí)儀器（appliance）出現(xiàn)飽和或中毒現(xiàn)象。所以在進(jìn)行性能測(cè)試或檢漏時(shí)，進(jìn)入傳感器的鹵素氣體的濃度不宜高于百萬分之一。固定式鹵素檢漏儀傳感器應(yīng)和lO-1～10oPa壓力范圍(fàn wéi)內(nèi)工作(job)，壓力過高或過低都會(huì)導(dǎo)致儀器靈敏度的下降。便攜式鹵素檢漏儀（SF6檢漏儀）的傳感器基本上是在大氣（dàqì）壓下工作的，靠吸氣裝置(device)吸入氣體，使鹵素氣體流經(jīng)傳感器。