直線導(dǎo)軌的精度可分為行走平行度、高度的成對(duì)相互差及寬度的成對(duì)相互差。

行走平行度是指將導(dǎo)軌用螺栓固定在基準(zhǔn)面上，使滑塊在導(dǎo)軌全長上運(yùn)行時(shí)，滑塊與導(dǎo)軌基準(zhǔn)面之間的平行度誤差。

高度的成對(duì)相互差是指組合在同平面上的各個(gè)滑塊的高度尺寸的值與最小值之差。寬度的成對(duì)相互差是指裝在單支導(dǎo)軌上的每個(gè)滑塊與導(dǎo)軌基準(zhǔn)面之間的寬度尺寸的值與最小值之差。不同的設(shè)備可選用不同精度的導(dǎo)軌。

1)導(dǎo)向精度導(dǎo)向精度是指運(yùn)動(dòng)構(gòu)件沿導(dǎo)軌承導(dǎo)面運(yùn)動(dòng)時(shí)其運(yùn)動(dòng)軌跡的準(zhǔn)確程度。影響導(dǎo)向精度的主要因素有導(dǎo)軌承導(dǎo)面的幾何精度、導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)類型、導(dǎo)軌副的接觸精度、表面粗糙度、導(dǎo)軌和支承件的剛度、導(dǎo)軌副的油膜厚度及油膜剛度，以及導(dǎo)軌和支承件的熱變形等。直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的幾何精度一般包括：垂直平面和水平平面內(nèi)的直線度；兩條導(dǎo)軌面間的平行度。導(dǎo)軌幾何精度可以用導(dǎo)軌全長上的誤差或單位長度上的誤差表示。 

(2)精度保持性精度保持性是指導(dǎo)軌工作過程中保持原有幾何精度的能力。導(dǎo)軌的精度保持性主要取決于導(dǎo)軌的耐磨性及其尺寸穩(wěn)定性。耐磨性與導(dǎo)軌副的材料匹配、受力、加工精度、潤滑方式和防護(hù)裝置的性能等因素有關(guān)，另外，導(dǎo)軌及其支承件內(nèi)的殘余應(yīng)力也會(huì)影響導(dǎo)軌的精度保持性。 

(3)運(yùn)動(dòng)靈敏度和定位精度運(yùn)動(dòng)靈敏度是指運(yùn)動(dòng)構(gòu)件能實(shí)現(xiàn)的最小行程；定位精度是指運(yùn)動(dòng)構(gòu)件能按要求停止在位置的能力。運(yùn)動(dòng)靈敏度和定位精度與導(dǎo)軌類型、摩擦特性、運(yùn)動(dòng)速度、傳動(dòng)剛度、運(yùn)動(dòng)構(gòu)件質(zhì)量等因素有關(guān)。