目前，國內外SF6微水監測技術的主要方法有:重量法、電解法、振動頻率法、冷鏡法、阻容法等。這些方法各有利弊，分別適用于不同情況，下面就這幾種方法加以介紹。
HDWS-II SF6微水測試儀
1.1重***法
重量法是IEC推薦的仲裁法，是一種經典的測量方法。該方法讓樣氣流經干燥劑，通過測量干燥劑吸收的水分量，與樣氣體積之比得到樣氣濕度。其優點是精度高，***大允許誤差可達0.1;缺點是共體操作較困難，尤其是對于低濕度氣體，同時浪費大量氣體。因而只適合于測量露點一32℃以上的氣體，實際上單純利用該方法測濕度的儀器較少。
1.2電解法
將干燥劑吸收的水分經電解池電解成氫氣和氧氣排出，電解電流的大小與水分含量成正比，通過檢測電流測得樣氣的濕度。該方法彌補了重量法的缺點，測量量程可達一80°C以下，且精度較好、價格便宜;缺點是電解池氣路需要在使用前干燥很長時間，且對氣體的腐蝕性及清潔性要求較高。
1.3振動頻率法
將重量法中的干燥劑換用一種吸濕性的石英晶體，根據該品體吸收水分質量不同時振動頻率不同的特點，讓待測氣體和標準干燥氣流經該晶體，因而產生不同的振動頻率差△f1和△f2,計算2頻率之差即可得到樣氣的濕度。該方法其有電解法一樣的優點，且使用前勿須干燥。
1.4冷鏡法
冷鏡法也是一種經典的測量方法。讓氣體流經冷凝鏡，通過等壓制冷，使得氣體達到飽和結露狀態，測量冷凝鏡此時的溫度即是樣氣的露點。該方法的主要優點是精度高，尤其在采用半導體制冷和光電檢測技術后，不確定度可達0.1°C;缺點是響應速度較慢，尤其在低露點時，達到平衡的時間甚至達數小時，同時該方法對樣氣的潔潔性和腐蝕性要求較高，否則會影響光電檢測效果或產生“偽結露”造成測量誤差。
1.5阻容法
阻容法是一種不斷*的濕度測量方法。利用一個高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜、其外鍍一層多孔的網狀金膜,金膜與鋁棒直接形成電容,由于氧化鋁薄膜的吸水特性,導致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量電容值即可得樣氣的濕度.該方法的主要優點是測量量程可更低，響應速度非常快，因而多用于現場和快速測量場合;缺點是精度較差，不確定度多為土2-土3°C
HDWS-143 智能SF6露點測試儀
在我國多使用露點儀或基于電解法設計的微水測量儀。這些方法主要有3個缺點。
a.屬于離線檢測，不能實時反應sf6的當前濕度。sf6內水分結露點隨斷路器內、外溫度，氣體壓力等環境條件的變化而改變，瞬時的高濕有可能帶來嚴重后果。
b.耗氣量大。以上提到的各種方法大多是將斷路器內部sf6氣體放出，使其流過儀器來檢測濕度，這樣在每次檢測時都要耗費大量的sf6氣體，同時外部儀器每次接入都會給sf6氣體帶來很多水分。
c.測試復雜，費時費力。每次測試都需要搬運儀器到現場、連接一導氣管、安裝閥門、等待傳感器反應時間，在測試完后還要使用潔凈干燥的氣體***好為氮氣)清洗系統，每次測試都要耗費大量的人力、物力和時間。
