泄漏檢查又稱檢漏或密封試驗。六氟化硫電氣設備中氣體介質的絕緣和滅弧能力主要依賴于足夠的充氣密度（壓力）和氣體的高純度，氣體的泄漏直接影響設備的安全運行和操作人員的人身安全。所以，SF₆氣體檢漏是六氟化硫電氣設備交接驗收和運行監督的主要項目之一。根據有關規定，設備中每個氣室的年漏氣率不能超過1%。

XP-1A 進口SF₆氣體定性檢漏儀

　　現場檢漏的部位主要是設備氣室的接頭、閥門、表計、法蘭面接口等，可參看設備的密封對位圖。試驗時，設備狀況應盡可能與實際運行情況相符。通常，設備應分別在分、合閘位置進行密封試驗，但如已證明密封與分、合閘位置無關或其中一種位置的密封試驗能包容另一種位置的密封試驗時，則可只在該位置進行密封試驗。