國內外生產SF6普遍采用單質硫與單質氟直接合成的工藝流程。在合成的SF6粗品中，一般含有總量約5%的S2F2、S2F10、SOF2、SO2F2、SO2、HF、CF4、O2、N2等10幾種雜質，凈化后的純度可達99. 9%以上，但是SF6新氣仍可能因提純工藝和充裝等因素造成質量問題，因此***對SF6新氣進行驗收，然后查驗所購買的產品和質量是否與出廠報告和購買合同相符。
每批出廠的SF6氣體都應附有一定格式的質量證明書，其主要內容應包括生產廠名稱、產品名稱、生產批號、氣瓶編號、氣體凈重、生產日期和適用標準編號，用戶應***先向廠方索取并查驗產品的出廠報告。
氣瓶應噴涂油漆，標明生產廠名稱、產品名稱、批號、氣瓶號及產品商標。氣瓶的漆色、字樣應符合GB 7144-1999氣瓶顏色標志。標簽應符合GB 16804-1997規定的要求。
用戶應按標準規定對收到的工業SF6進行驗收，驗收應在貨到之日起的一個月內進行。用戶應按標準規定對新到SF6氣瓶進行抽樣，送有監督檢測能力的單位進行質量抽樣檢驗，檢驗結果中如有一項指標不符合GB/T 12022要求時，應重新自兩倍量的包裝中采樣進行復驗。復驗結果即使僅有一項指標不符合標準要求時，則整批產品為不合格。
