SF6新氣應按國家標準的規定進行質量檢驗，檢測項目有空氣(N2、O2)、四氟化碳(CF4)、六氟化硫(SF6)純度測試、SF6微水測試(H2O)、酸度(以HF計)、可水解氟化物(以HF計)、礦物油、毒性生物試驗共8個項目，檢測結果應符合GB/T12022的規定。
(1) 當SF6氣體中濕度較大時，如果設備內發生電弧，SF6氣體的電弧分解物在水分參與下會產生很多有毒物質，如SOF2,HF等，從而腐蝕斷路器內部結構材料并威脅檢修人員人身安全;另外.當濕度大時.隨著溫度的變化，在絕緣件的表面產生凝結水，造成沿面閃絡.使其絕緣強度下降，威脅設備安全運行。
(2) 空氣、四氟化碳、礦物油等雜質會降低絕緣和滅弧性能，電氣設備在受到大電流、高電壓、高溫等外界因素的影響下，同時有氧氣和水分存在時將產生有毒或劇毒的含氧低氟化物，這些雜質對人體危害很大，并且會腐蝕設備的金屬部件和絕緣材料。
(3) 酸度的大小在一定程度上代表或象征著SF6氣體毒性的大小，特別是酸性組分和水分同時存在時，有可能發生凝聚，將會嚴重危及電氣設備的安全運行。
(4) 在SF6新氣雜質中的含硫低氟化物.其中有些極易水解形成酸性或有毒物質，損害人體健康和設備運行安全。
