三坐標測頭校準是確保測量精度的基本，在校準流程中造成偏差的關鍵要素有：測桿的彎曲形變，校準時觸測點部位，測力，觸測速度和探測間距等，測力越小精密度越低，該選用相應的測力和測速開展校準，與此同時采用適合的探測間距，以確保校準精密度。
校驗三坐標測頭關鍵依據下邊2個方面的緣故。

（1）坐標測量機測量零部件時，測量傳感器安裝使用的測針尾端是寶石球，球體與被測零部件表層觸碰后觸發測量數據信號。觸發數據信號后，運動控制器將設備的現階段坐標發送到測量軟件，隨后由軟件將設備坐標測算到測球中心，最后再依據觸測方位，偏離測球半徑，以得到正確合理的測量點坐標，這一個能精確調整測球半徑值的功能是幾何測量機軟件的一種關鍵功能。因為三坐標測頭半徑尺寸、安裝使用尺寸等存有偏差，很有可能會干擾測量點的精密度，因此測量系統需要根據校驗流程，來調整實際測針的半徑值。