氟硅橡膠與甲基乙烯基硅橡膠相比，其耐油、耐溶劑、耐化學藥品性極其優良;即使與氟橡膠相比，耐油、耐溶劑性也是良好的。在相同介質、溫度、時間下浸漬后均顯示出了優良的耐久性，可以說氟硅橡膠是**一種在-68℃～232℃下耐非極性介質的彈性體。氟硅橡膠的耐含甲醇汽油性也比較好，即使在汽油/甲醇混合體系中，其硫化膠的硬度、拉伸強度、體積變化都很小，經500小時長時間的浸漬試驗后，各項物性也幾乎沒有變化。 氟硅橡膠的高溫分解與硅橡膠一樣，即：側鏈氧化、主鏈斷裂、側鏈熱分解和引起各種復合反應。由于分解產物也會引起主鏈斷裂，所以耐熱性通常比硅橡膠要差一些，在200℃的溫度下已開始氧化老化。但通過添加鐵、鈦、稀土類氧化物等少量的熱穩定劑便可使其獲得顯著的改善，即使在250℃高溫下也具有足夠的耐熱性。溫度對氟硅橡膠影響比硅橡膠大，但比氟橡膠小。
氟硅橡膠與普通硅橡膠一樣，低溫性能良好。由于氟硅橡膠是以柔軟的Si-O為主鏈構成的線型高聚物，所以低溫特性優于以C-C為主鏈的氟橡膠。其中，氟硅橡膠的低溫特性更好，脆性溫度低達-89℃，而一般的氟橡膠約為-30℃。
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