臭氧傳感器是一種將臭氧氣體的成份、濃度等信息轉換成可以被人員、儀器儀表、計算機等利用的信息的裝置。

根據工作原理的不同，臭氧傳感器有以下幾種類型：

1、半導體臭氧傳感器

此類型傳感器制造簡單，具有成本低廉、靈敏度高、響應速度快、壽命長、對濕度敏感低和電路簡單等優點。不足之處是必須工作于高溫下、對氣味或氣體的選擇性差、元件參數分散、穩定性不夠理想、功率要求高。

2、固體電解質臭氧傳感器

是一種以離子導體為電解質的化學電池，電導率高、靈敏度和選擇性好。

3、高分子臭氧傳感器

具有易操作性、工藝簡單、常溫選擇性好、價格低廉、易和微結構傳感器和聲表面波器件相結合等特點。

4、光學式臭氧傳感器

具有自動校正、自動運行的作用。其主要優點是靈敏度高、可靠性好。

5、電化學型臭氧傳感器

臭氧在工作電極上的電化學氧化過程，通過電子線路將電解池的工作電極和參比電極恒定在一個適當的電位，在該電位下可以發生臭氧的電化學氧化或還原。需要由外界施加特定電壓，優點是檢測氣體的靈敏度高、選擇性好。

臭氧傳感器基本特征介紹：

氣體傳感器的基本特征，即靈敏度、選擇性以及穩定性等，主要通過材料的選擇來確定。選擇適當的材料和開發新材料，使氣體傳感器達到更好的敏感特性。

1、靈敏度

靈敏度是指傳感器輸出變化量與被測輸入變化量之比，主要依賴于傳感器結構所使用的技術。大多數氣體傳感器的設計原理都采用生物化學、電化學、物理和光學。首先要考慮的是選擇一種敏感技術，它對目標氣體的閥限制(TLV-thresh-old limit value)或低爆炸限(LEL-lower explosive limit)的百分比的檢測要有足夠的靈敏性。

2、抗腐蝕性

抗腐蝕性是指傳感器暴露于高體積分數目標氣體中的能力。在氣體大量泄漏時，探頭應能夠承受期望氣體體積分數10~20倍。在返回正常工作條件下，傳感器漂移和零點校正值應盡可能小。

3、選擇性

選擇性也被稱為交叉靈敏度。可以通過測量由某一種濃度的干擾氣體所產生的傳感器響應來確定。這個響應等價于一定濃度的臭氧所產生的傳感器響應。這種特性在追蹤多種氣體的應用中是非常重要的，因為交叉靈敏度會降低測量的重復性和可靠性，理想傳感器應具有高靈敏度和高選擇性。

4、穩定性

穩定性是指傳感器在整個工作時間內基本響應的穩定性，取決于零點漂移和區間漂移。零點漂移是指在沒有臭氧時，整個工作時間內傳感器輸出響應的變化。區間漂移是指傳感器連續置于臭氧中的輸出響應變化，表現為傳感器輸出信號在工作時間內的降低。理想情況下，一個傳感器在連續工作條件下，零點漂移一般會在一定的范圍內。