被測試的drylin導向系統展現了一種的無塵室適用性。 在這方面，個別無塵室等級必須考慮所需的速度和載荷。 根據SEMI E78-0998（評價），iglidur J和硬質陽極化鋁的結合在 ESD相容性中是“第1級”。
所有drylin直線導軌專為干運行設計，并在此條件下經過了測試。 無需油或油脂被用作額外的潤滑劑。
被測試的drylin導向系統展現了一種的無塵室適用性。 在這方面，個別無塵室等級必須考慮所需的速度和載荷。 根據SEMI E78-0998（評價），iglidur J和硬質陽極化鋁的結合在 ESD相容性中是“第1級”。
所有drylin直線導軌專為干運行設計，并在此條件下經過了測試。 無需油或油脂被用作額外的潤滑劑。
以下來自易格斯的drylin導向系統已經過測試：N40, W10, T25和T30
易格斯制造的直線導向系統 drylinNK- 02 - 40 - 02，在速度為1 米/秒時，檢測尺寸可能與計算的閾值相差0.2 μ m， 0.3 μ m， 0.5 μ m和5 μ m。這符合在無塵室內按照DIN EN 14644-1制定的ISO 6級標準。
根據 SEMI E78-0998 ESD相容性測量結果表明，直線導向系統drylin NK- 02 - 40 - 02可被歸類為“1級” 。 Fraunhofer IPA 報告編號：IG 0308- 295 73
易格斯直線導向系統drylin TK-01-30-01，在速度為0.1 米 /秒時，檢測尺寸可能與計算的閾值相差0.2 μ m， 0.3 μ m， 0.5 μ m和5 μ m。這符合在無塵室內按照DIN EN 14644-1制定的ISO 3級標準 “
易格斯直線導向系統drylin TK-01-25-02，在速度為0.1 米 /秒時，檢測尺寸可能與計算的閾值相差0.2 μ m， 0.3 μ m， 0.5 μ m和5 μ m。這符合在無塵室內按照DIN EN 14644-1制定的ISO 1級標準
根據 SEMI E78-0998 ESD相容性測量結果表明，直線導向系統drylin TK-01-25-02可被歸類為“1級” 。
易格斯制造的直線導向系統 drylin TK-10-30-01，在速度為1 m/s時，檢測尺寸可能與計算的閾值相差0.2 μ m， 0.3 μ m， 0.5 μ m和5 μ m。這符合在無塵室內按照DIN EN 14644-1制定的ISO 6級標準。
根據 SEMI E78-0998 ESD相容性測量結果表明，直線導軌drylin WK-10-40- 15-01可被歸類為“1級” 。 Fraunhofer IPA 報告編號：IG 0308- 295 74
