質量流量控制技術，未有的過程精度

為真正實現對每個過程的控制，用戶必須準確測量進行中的過程 — 范圍涉及饋線、倉室等每一處 — 然后利用所得到的實時信息確全程準確按照目標執行并達到目標產率。

作為一家在液體準確測量與控制方面的企業，布魯克斯儀器數十年來不斷堅持創新熱質量流量技術，推出新產品并不斷提升現有系統性能以突破現有熱質量流量技術在準確性、響應速度、精度和重現性方面的限制。

布魯克斯質量流量設備在各國得到廣泛應用的關鍵原因：

• 擁有業內種類齊全的產品系列可滿足各種應用需求
• 創新型 MultiFlo™ 技術可使一臺設備完成氣體類型和量程的切換工作并且無需從系統中拆除設備，同時還能夠提升過程氣體的測量準確性
• 產品范圍全面，包括彈性體密封和金屬密封選件
• 超高純度設備，專為滿足薄膜、半導體以及其他高科技行業需求而設計

關鍵應用

• 熱處理、切割等其他熱過程
• 半導體和 LED 生產工具
• 薄膜淀積系統
• 用于生物制藥的生物反應器
• 石化和化工氣體和液體試驗工廠
• 吹掃氣體、過程分析和分析用流量測定