該裝置有以下四個主要特點。

       (1)  能夠根據檢查或分析的需要從兩個控制器中選擇合適的控制器。另外，物鏡的倍率變換與觀察法的切換聯動，能夠在觸摸屏上設定亮度調節、自動對焦等觀察條件，提高了操作性。

       (2)  通過采用新的光學系“UIS2物鏡”提高了缺陷檢測能力。UIS2物鏡通過使用高品質玻璃實現了忠實的色彩再現。暗視野觀察時的亮度也提高至該公司原產品的4倍左右。

       (3)  通過采用新方式的自動對焦；（AF）實現了檢查及分析作業的效率化。配備有與物鏡的倍率指定和觀察方法切換產生聯動的、用于調節出亮度及對比度的自動調光功能。另外，微分干涉單元的對比度可通過電動進行指定。此外，AF方面采用了對焦精度及速度更出色的多點對焦方式，從而提高了對焦時的穩定性。通過新方式的自動對焦來實現檢查及分析作業速度的提高，以及減少作業的疲勞；

       (4)  具有電動載物臺、數碼相機及深紫外線觀察系統等具有擴展性的系統配置。采用可支持多種需求的系統配置，如經由數碼相機的監視系統、實現了自動控制的深紫外線觀察系統、以及晶圓檢查效率更高的搬運裝置和電動載物臺的組合等。