【勻膠機清洗】

∷每次使用完后請清洗設備。

①取下片托，用溶劑（如酒精、丙酮等）將片托表面的旋涂液擦洗干凈；

②取下不銹鋼鍋，用溶劑（如酒精、丙酮等）將鍋內部的旋涂液擦洗干凈；

∷如發現旋轉軸上的光碼盤氣孔進膠，請立即清洗。操作步驟如下：

①取下托盤，在旋轉軸光碼盤上滴入適量溶劑（如酒精、丙酮等）；

②等待1-2分鐘，直至光刻膠溶解在溶劑中；

③打開泵抽氣3分鐘左右，直至光碼盤氣孔中光刻膠清除干凈為止。

【片托使用】

∷托盤選取：保證旋涂基片的外徑大于片托的凸臺外徑以防止電機進膠，即a≥1~2mm，如圖1所示；

∷旋涂溶液量：及時清理不銹鋼鍋內的殘余旋涂溶液，以免滯留過多溢出鍋外，污染設備。

                                                                    圖1 片托使用示意圖

【氣管插拔】

∷插入氣管：用力將氣管插到底即可，如圖2所示。

∷拔出氣管：先要按下快插接頭的圓環，然后才能夠進行拔氣管操作，如圖2所示。

                                                                圖2 氣管插拔示意圖

                                                    ①快插接頭；②氣管；③快插接頭圓環；