真空熱處理爐是將工件在真空條件下進行熱處理的設備，真空熱處理幾乎可實現全部熱處理工藝，如淬火、退火、回火、滲碳、氮化等。真空熱處理與其他傳統熱處理方法相比較，具有以下獨特的優點：

一、凈化作用可使金屬表面氧化物分解，從而獲得光亮、清潔的工件表面。

二、真空保護作用可使金屬避免氧化、脫碳、增碳等不利影響，保持工件表面原有的化學成分和光亮度。

三、除氣作用在真空中可除去工件原來溶解、吸收的氣體，使金屬產品性能有明顯提高。

四、脫脂作用在真空中加熱，金屬零件在機械加工和沖壓成型過程中使用的冷卻劑、潤滑劑等油脂能自行揮發，并被真空抽走，不致在高溫時與零件表面產生反應。因此可以輕易得到無氧化、無腐蝕的非常光潔的表面。

五、節省能源真空熱處理爐蓄熱和散熱損失小、熱效率高。

六、被處理的工件在爐內加熱緩慢，內熱溫差較小，熱應力小，因而變形小；不易開裂，產品合格率高；真空熱處理可輕易地嚴格按照工藝要求控制溫度變化，從而獲得理想的金相組織，提高了工件的機械性能和使用壽命；真空熱處理工藝的穩定性和重復性好。

七、真空熱處理后的產品可直接用于高精加工或作為Z終產品，免除了清洗、表面加工等輔助工序，大大降低生產成本。

八、對環境沒有污染和公害，自動化程度高，操作安全簡單。

真空熱處理爐工藝被越來越重視，其應用范圍也越來越廣，目前它已成為優質工模具的熱處理工藝，可以毫不夸張地說，真空熱處理已成為當前熱處理生產技術的主要標志。