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紅外熱像儀在LED芯片上去除光刻膠的應用

2026年02月23日 10:54:41      來源:武漢格物優信科技有限公司 >> 進入該公司展臺      閱讀量:4

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在LED芯片生產過程中,要經過劃片工藝,經過劃片后的LED芯片側面比較光滑,因此要對LED芯片側面進行腐蝕,使得側面變得粗糙,從而增加側面的發光面積,以達到增加光功率的目的。經過劃片和側面腐蝕工藝會使LED的正面受到劃損或者腐蝕。因此,在劃片之前會在LED芯片的正面會覆蓋一層光刻膠,用以保護LED芯片,在經過側面腐蝕工藝之后,已經不再需要光刻膠作為保護層,需將光刻膠從LED芯片上去除。

紅外熱像儀在LED芯片上去除光刻膠的應用

去除LED芯片上的光刻膠是LED芯片制造工藝中的重要工序,在光刻膠去除的研究中,長期以來一般使用干法去膠或濕法去膠,但干法處理存在容易遺留殘渣等諸多缺陷,因此目前行業內主要使用濕法去膠。濕法去膠一般用有機正膠去膜劑作為去膠劑,如601正膠去膠劑;該正膠去膠劑容易揮發,操作員的工作環境惡劣;去膠過程容易腐蝕鋁電極,使鋁電極顏色變黃;又由于使用有機正膠去膜劑去膠不容易控制去膠進度,導致只能單片作業以確保去膠正常進行。

芯片尺寸為1mm*1mm,客戶想要觀測LED通電后芯片表面的光刻膠是很困難的,在熱像儀的觀測下,led的光刻膠相對于其他地方的反射率迥然不同。

在可見光波段,它們看起來或透明或與基底顏色相似。然而,在紅外熱像波段,它們看起來顏色更深,特別是相對于其他地方的顏色。

使用紅外熱像儀觀測出光刻膠,精準的找到光刻膠的位置,可以更快更精準的去掉膠體

紅外熱像儀在LED芯片上去除光刻膠的應用

紅外熱像儀的優勢:

非接觸的方式可以直接讀出LED芯片的溫度分布情況,避免了因為接觸測溫造成的溫度變化;

熱像儀可以觀測很微小的物體;

更精確的測量

可以在長時間做在線監控;

可以查看溫度變化過程,后期可以進行分析。

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