X射線熒光光譜儀是一種比較新型的無損、快速、便捷的并且可以對多元素進行快速同時測定的儀器。在被測物在X射線激發下，被測元素原子的內層電子發生能級躍遷而發出次級X射線。

X射線熒光光譜儀又可分為波長色散型X射線熒光光譜儀（WDXRF）和能量色散型X射線熒光光譜儀（EDXRF）。

波長色散型X射線熒光光譜儀（WDXRF）

事實上波長色散型X射線熒光光譜儀（WDXRF）和能量色散型X熒光光譜儀（EDXRF）。是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。

能量色散型X射線熒光光譜儀（EDXRF），用X射線管產生原級X射線照射到樣品上，所產生的特征X射線這節進入Si-Li探測器，便可以據此進行定性分析和定量分析，臺能量色散型X熒光光譜儀是1969年問世的。近幾年，由于商品能量色散型X熒光光譜儀儀器及儀表計算機軟件的發展，功能，應用領域拓寬，其特點，性日益受到認識，發展迅猛。

能量色散型X熒光光譜儀

波長色散型X射線熒光光譜儀（WDXRF）是用晶體分光而后由探測器接收經過衍射的特征X射線信號。如果分光晶體和探測器做同步運動，不斷地改變衍射角，便可獲得樣品內各種元素所產生的特征X射線的波長及各個波長X射線的強度，可以據此進行特定分析和定量分析。該種儀器產生于50年代，由于可以對復雜體進行多組同時測定，受到關注，特別在地質部門，先后配置了這種儀器，分析速度顯著提高，起了重要作用。隨著科學技術的進步在60年初發明了半導體探測儀器后，對X熒光進行能譜分析成為可能。