由于普通能量色散型X熒光光譜儀采用低功率X射線管，又采用濾光片扣除背景和干擾，其背景偏高，分辨率偏小，使得應用范圍受到限制，特別是在輕元素的分析受到限制。

隨之X射線偏振器的誕生，產(chǎn)生了一款新型的能量色散型X熒光光譜儀，既偏振式能量色散型X熒光光譜儀ED(P)-XRF，再加上SDD探測器的使用，不僅提高了(相對使用正比計數(shù)管和Si(PIN)探測器的儀器)的分辨率，免去Si(Li)探測器使用液氮冷卻的繁瑣和危險，原來普通能量色散X熒光的輕元素檢出限高，分辨率差的缺陷，又使得(相對波長色散X熒光用戶)購買和使用X熒光儀器的成本大大減低，這使得偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF在分析領域的迅猛發(fā)展，越來越受到廣泛關注。

能量色散型X熒光光譜儀

X熒光光譜儀(XRF)是一種較新型可以對多元素進行快速同時測定的儀器。在X射線激發(fā)下，被測元素原子的內層電子發(fā)生能級躍遷而發(fā)出次級X射線(即X-熒光)。

波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。

波長色散型X熒光光譜儀(WDXRF)，是用晶體分光而后由探測器接收經(jīng)過衍射的特征X射線信號。

波長色散型X熒光光譜儀

如果分光晶體和控測器作同步運動，不斷地改變衍射角，便可獲得樣品內各種元素所產(chǎn)生的特征X射線的波長及各個波長X射線的強度，可以據(jù)此進行定性和定量分析。

能量色散型X熒光光譜儀(EDXRF)，用X射線管產(chǎn)生原級X射線照射到樣品上，所產(chǎn)生的特征X射線(熒光)直接進入半導體探測器，便可以據(jù)此進行定性分析和定量分析。