1、光譜室和樣品室的真空抽不到規(guī)定值。


通常在真空光路條件下工作，但光譜室和樣品室有很多部位與外部相連，可能漏氣的部位很多。檢查真空故障時(shí)，將可能出問(wèn)題的地方人為分隔為三部分：真空泵、樣品室、光譜室，對(duì)這三部分逐一檢查以縮小范圍。

2、X熒光光譜儀X射線發(fā)生器的高壓開(kāi)不起來(lái)。


這是X熒光光譜儀較常見(jiàn)的故障，一般發(fā)生在開(kāi)機(jī)時(shí)，偶爾也發(fā)生在儀器運(yùn)行中。故障的產(chǎn)生原因可以從三個(gè)方面去分析：

①X射線防護(hù)系統(tǒng);

②內(nèi)部水循環(huán)冷卻系統(tǒng);

③高壓發(fā)生器及X射線光管。

3、掃描時(shí)，發(fā)現(xiàn)峰形不光滑，有小鋸齒狀。

晶體是儀器內(nèi)最脆弱的部件，盡量不要用手接觸衍射面，如果手或其他東西碰到了晶體的衍射面，就會(huì)污染晶體，手上的汗或其他物質(zhì)滲到晶體的表面，使晶體表面的晶格間距發(fā)生變化，而X射線熒光的衍射主要發(fā)生在晶體的表面，因此造成2θ掃描的峰形不光滑。

4、計(jì)數(shù)率不穩(wěn)定。

X熒光光譜儀的常用探測(cè)器有二個(gè)：流氣計(jì)數(shù)器和閃爍計(jì)數(shù)器。閃爍計(jì)數(shù)器很穩(wěn)定，問(wèn)題常出現(xiàn)在流氣計(jì)數(shù)器上。