一、 臺式X射線熒光光譜儀
早期的臺式X熒光光譜儀使用液氮（LN）致冷探測器Si（Li） LN，每次使用要消耗液氮，也不方便。電致冷硅漂探測器Si PIN出現后，就成為側RoHS光譜儀探測器的主流。液氮致冷靈敏度較容易達到要求，成本比電致冷的稍微低點，所以現在個別品牌還有液氮的。但現有的電致型都能達到RoHS要求，且有的品牌用Si（Li）PCD電致冷探測器幾乎達到的ppb級水平。實際上，在有RoHS之前早就有X射線熒光光譜儀，測RoHS的要求相對來說要求并不太高，所以就派上用場了。
以上兩種探測器對測輕元素的靈敏度都不理想，出現了SDD電致冷探測器，提高了對輕金屬元素的靈敏度，還能測硅等非金屬元素，但價格相對來說又貴了許多。

X射線熒光光譜儀有多種，主要以能量色散X射線熒光光譜儀和波長色散X射線熒光光譜儀為主。二者有以下區別：
1.能量色散X熒光光譜儀是將X射線激發被測所有元素的熒光簡單過濾后，全部進到檢測器中，利用儀器和軟件來分出其中的光譜。如測的為元素周期表中相鄰的兩個元素，會因光譜重疊而產生測量誤差。硬件決定了之后，儀器水平的高低，往往就在這里。

1． 能量色散X熒光光譜儀
能量色散型儀器的優點是不破壞被測的材料或產品，也不需要專業人員操作，缺點是對鉻和溴是總量測定（一般不影響使用，因為很多情況可以判定，如測鉻總量超標，常可知是不是六價鉻超標，特別是溴，如被作為阻燃劑加入，不管是那種溴，總量超標就不合格）。

國產能量色散X熒光光譜儀

進口或國產的各種能量色散X射線熒光光譜儀技術水平雖有差別，但已夠應對RoHS檢測，用戶應根據自己的能力來選購國產或進口的。國產的EDX-6000能量色散X射線熒光光譜儀也能滿足RoHS的檢測。

2．波長色散X熒光光譜儀
波長色散X熒光光譜儀是因其激發出的熒光足夠強，進到儀器中用來分析的光譜是單一元素（“過濾”了不需測的元素），不含其它元素的光譜，所以測量數據很準確。 此種儀器的靈敏度比能量色散的高一個數量級，也就是說，所測的數據并不存在“灰色地域”，不存在測定后還需拿到檢測機構復檢。但儀器的價格比能量色散的貴很多， 特別是進口的都在百萬元以上.儀器操作和能量色散一樣，不需要專業人員。
國產臺式波長色散熒光光譜儀。價格比進口的能量色散型的還便宜，使用壽命也比能量色散的長一倍（主要指探測器，能量型的一般為5年，波長型的一般為10年）。

波長型是用在原材料廠上，其測定的數據準確，給生產廠以確信的合格材料。缺點是，波長法需將被測材料粉碎壓制成樣本后測才準確。所以，用在材料廠。如不制成樣本（非破壞），會因材料表面形狀不同而產生不同誤差。