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半導(dǎo)體生產(chǎn)線超純水設(shè)備10噸每小時技術(shù)方案

2026年06月12日 09:17:20      來源：深圳市恒大興業(yè)環(huán)保科技有限公司 >> 進入該公司展臺      閱讀量：15

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半導(dǎo)體生產(chǎn)線 10m³/h 超純水（UPW）設(shè)備技術(shù)方案
設(shè)計產(chǎn)能：10m³/h（24h 連續(xù)運行）；水質(zhì)標準：ASTM D5127 E-1.3 / SEMI F63 光刻級；工藝路線：強化預(yù)處理 + 雙級 RO+EDI+TOC 紫外 + 脫氣 + 拋光混床 + 終端超濾
一、核心設(shè)計參數(shù)
設(shè)計流量：10m³/h（回收率≥75%）
終端水質(zhì)（25℃）：
電阻率：≥18.2MΩ·cm
TOC：≤1ppb
顆粒（＞0.05μm）：＜500 個 / L
微生物：＜1cfu/100mL
溶解氧：＜10ppb
金屬離子：≤0.001ppb
運行方式：24h 連續(xù)；PLC + 觸摸屏全自動；冗余備用
二、工藝流程（全鏈凈化）
原水→原水箱→增壓泵→多介質(zhì)過濾→活性炭過濾→軟化器→保安過濾（5μm）→一級 RO→pH 調(diào)節(jié)→二級 RO→中間水箱→EDI→TOC 紫外（185nm）→脫氣膜→核級拋光混床→終端超濾（0.1μm）→超純水循環(huán)管網(wǎng)→用水點
三、單元設(shè)計與設(shè)備選型
1）預(yù)處理單元（除濁 / 除氯 / 除硬度）
多介質(zhì)過濾器（石英砂 + 無煙煤）：去除懸浮物、膠體，SDI≤3
活性炭過濾器：去除余氯、有機物，保護 RO 膜
全自動軟化器：硬度≤0.03mmol/L，防結(jié)垢
5μm 保安過濾：RO 前置保護
2）雙級 RO 反滲透（主脫鹽）
一級 RO：脫鹽率≥98%，產(chǎn)水電導(dǎo)率＜20μS/cm
二級 RO（加堿 pH 8.5–9.0）：脫除 CO，產(chǎn)水電導(dǎo)率＜5μS/cm
配置：高壓泵 + 能量回收；膜元件：抗污染苦咸水膜
系統(tǒng)回收率：≥75%
3）EDI 電去離子（深度脫鹽）
連續(xù)電再生，無酸堿再生
產(chǎn)水電阻率：15–17MΩ·cm，TOC＜20ppb
進水控制：CO＜5ppm，保障穩(wěn)定
4）終端超純化（達標 18.2MΩcm）
TOC 紫外消解（185nm）：降解有機物，TOC＜1ppb
脫氣膜：去除 DO/CO，穩(wěn)定電阻率
核級拋光混床：提純，18.2MΩ·cm
終端超濾（0.1μm）：截留微粒 / 膠體 / 微生物
四、材質(zhì)與管路（半導(dǎo)體級）
罐體：內(nèi)襯橡膠 / FRP
管路：主管316L EP；支線PVDF/PFA；、電拋光鈍化
閥門：衛(wèi)生級隔膜閥；快裝無滯留
儀表：在線電阻率 / TOC / 顆粒計數(shù) / 微生物 / 壓力流量
五、自控與安全
PLC + 觸摸屏：實時監(jiān)控、自動啟停、沖洗、保護
聯(lián)鎖：低壓保護、高壓保護、缺水保護、水質(zhì)超標停機
數(shù)據(jù)記錄：水質(zhì) / 流量 / 壓力歷史曲線，可導(dǎo)出
冗余：關(guān)鍵泵 / EDI / 拋光單元一用一備
六、占地與公用工程
設(shè)備占地：約6.5m×1.8m×2.3m
電源：380V/50Hz，約75kW
原水：市政自來水 / 井水（提供水質(zhì)報告可優(yōu)化）
排水：濃水、反洗水（可回收利用）
七、方案亮點
全流程無化學(xué)再生，綠色穩(wěn)定
雙級 RO+EDI + 拋光三級提純，18.2MΩ·cm長期穩(wěn)定
半導(dǎo)體級材質(zhì) + 循環(huán)管網(wǎng)，杜絕二次污染
全自動運行，運維成本低、良率保障
 
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