產品名稱：OLED顯微鏡
產品簡介：OLED顯微鏡是利用金屬光激發OLED自主發光后測量OLED蒸鍍尺寸和偏移等缺陷的顯微鏡。影像量測著重于度，系統底座采用鑄件/花崗石本體結構，減震系統克服環境震動問題，可解決高倍率解析時的震動問題。系統采用XY軸光學尺模塊可實現跨距量測。光學系統采用Nikon/Olympus熒光顯微鏡光路實現對OLED的激發。人性化計算機量測模式，有效提高觀察定位效率。專為使用者設計機型，使操作更便利、測量更迅速。
產品概述&參數
產品特點：
設備應用：
設備主要應用OLED的顯微分析和蒸鍍測量上
量測工具 | 點,線,圓,弧,橢圓,槽型,曲線等各項不規則外型取樣 |
形位公差 | 真圓度,同心度,垂直度,傾斜度,位置度,等各項形位公差設置 |
UV功能驗證 | UV光源下圖像清晰 |
斷面測量 | 按照PO spec要求進行測試并保存結果 |
自動計算offset | 根據蒸鍍有機材料的位置與設定的蒸鍍位置對比,計算offset;或者是將UV光圖像位置和上光源下圖片位置對比,計算offset |
UV光和鹵素光自動切換 | 在軟件中點擊切換按鈕后,可以自動切換光源并呈現相應的圖像 |
SPC | 軟件須附帶SPC功能,量測之數據須能自動導出作分析 |
報表輸出 | 軟件可客制化輸出客戶所需之 EXCEL,TXT,WORD,JPG |
7.3.2 設備配置&特征 7.3.2System Configuration& Characteristic
| 外部尺寸：LWH≤250025002000mm |
|
測量行程：XY≥750650mm Z≤100mm |
| |
重量：≤5000kg |
| |
承重：≥10kg Capacity: ≥10kg |
| |
高測量度：XYZ≤1μm Maximum Accuracy: XYZ≤1μm |
| |
機臺重復性：≤1μm Machine Repeatability:≤1μm |
| |
XYZ小移動距離：XYZ≤1um XYZ minimum move distance: XYZ≤1um |
| |
XYZ移動精度: XYZ≤1um XYZ move precision: XYZ≤1um |
| |
XYZ軸移動速度: XYZ≤200mm/s |
| |
7.3.3機械本體 7.3.3 Mechanics | 主機：影像測量系統，四軸CNC控制 Machine: 4-axis CNC video measuring machine |
|
機械結構：花崗巖或相同性能材質 Structure: Granite or comparable material |
| |
平面度公差：≤7um Platness Tolerance: ≤7um |
| |
光柵尺分辨率：XYZ≤0.5um |
| |
攝像機：彩色相機，200萬像素,WAN接口 Camera: Color camera, 2000000 pixels, the wan interface |
| |
CCD芯片尺寸：≥2/3英寸 CCD Size: ≥2/3 inch |
| |
光學系統配置：檢偏鏡，起偏鏡，紅藍綠濾光片，0.5X C接口，明暗場光學系統，五孔電動鼻輪 The optical system configuration: a polarizer, red green and blue filters, 0.5X C-mount, bright and dark field optical body, five holeelectric nose-wheel |
| |
光學放大倍率：5X/10X/20X/50X/100X |
| |
光源特征：光源可以采用鹵素燈、汞燈，壽命滿足SPEC要求 |
| |
7.3.5電控系統、 7.3.5 Control System | 電機：直流伺服電機 Dynamo:DC servo motor |
|
操作類型：鼠標和操作手柄，按鍵 Control Type: Mouse and Joystick |
| |
7.3.6軟件系統 7.3.6 Software System | 功能:點，直線，圓，弧，橢圓，槽等測量功能，帶有線追蹤功能，粒子計數，軟件定位系統，軟件控制光源亮度，軟件控制電動鼻輪，軟件控制孔徑光闌 |
|
圖像：可復制，可進行大面積圖形無縫拼接 Image: can copy |
| |
數據格式：JPG/Excel Data format: JPG/Excel |
| |
7.3.7 其它 7.3.7 Others | 防微振裝置:達到VC-B級別的防震平臺 Anti-vibration device: Yes |
|
靜電防護：離子風棒 |
