檢漏儀為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到僅對氦氣反應的工作狀態)的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
檢漏儀使用中產生測量誤差的主要來源主要包括8個方面：
一、在校準靈敏度時，標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導致經二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差。
二、進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數值而導致無法換算，這時也會產生漏率測量誤差。
三、所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。
四、輸出指示與漏率的線性關系差。
五、校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時，所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。
六、性能不穩定。
七、氦氣純度不穩定或存在誤差。
八、后也就是檢漏操作人員的因素，包括素質、責任心、技術水平以及工作經驗等。
